초록

본 발명의 일 실시예에 따른 정전척을 제작하는 방법은, 흡착 플레이트 상에 히터 플레이트를 적층하는 단계; 상기 히터 플레이트 상에 접착제를 제1 소정의 두께로 도포하고 경화하는 과정을 복수 회 반복함으로써 접착층을 형성하는 단계; 상기 접착층에서 제2 소정의 두께만큼을 제거함으로써 제1 모듈을 제작하는 단계; 및 상기 제1 모듈과 제2 모듈을 결합하는 단계;를 포함한다.

대표청구항 ▼

베이스 바디 및 히터 플레이트 사이의 접착층이 손상되는 경우, 상기 접착층 중 일부만 제거함으로써 상기 손상된 접착층을 수리할 수 있는 정전척을 제작하는 방법에 있어서,흡착 플레이트 상에 상기 히터 플레이트를 적층하는 단계;상기 히터 플레이트 상에 접착제를 200μm 두께로 도포하고 경화함으로써 단일 접착 레이어가 생성되는 과정을 4회 반복함으로써 생성된 4개의 접착 레이어들에 의하여 접착층을 형성하는 단계;상기 접착층에서 250μm 내지 300μm의 범위 내에서 설정된 두께만큼을 제거함으로써 생성된 제1 접착층을 포함하는 제1 모

베이스 바디 및 히터 플레이트 사이의 접착층이 손상되는 경우, 상기 접착층 중 일부만 제거함으로써 상기 손상된 접착층을 수리할 수 있는 정전척을 제작하는 방법에 있어서,흡착 플레이트 상에 상기 히터 플레이트를 적층하는 단계;상기 히터 플레이트 상에 접착제를 200μm 두께로 도포하고 경화함으로써 단일 접착 레이어가 생성되는 과정을 4회 반복함으로써 생성된 4개의 접착 레이어들에 의하여 접착층을 형성하는 단계;상기 접착층에서 250μm 내지 300μm의 범위 내에서 설정된 두께만큼을 제거함으로써 생성된 제1 접착층을 포함하는 제1 모듈을 제작하는 단계; 및상기 제1 모듈과 제2 모듈을 결합하는 단계;를 포함하고,상기 제1 접착층은 3개의 접착 레이어들을 포함하고, - 상기 3개의 접착 레이어들 중 2개의 접착 레이어들의 두께는 각각 200μm 이고, 나머지 1개의 접착 레이어의 두께는 100μm 내지 150μm의 범위에 포함됨 -상기 손상된 접착층을 수리하는 경우, 상기 제1 접착층에 포함된 3개의 접착 레이어들 및 상기 제2 모듈에 포함된 접착 레이어에 의한 총 4개의 접착 레이어들 중 n개의 접착 레이어만 제거하는 방식으로 수리되고,상기 n은 1 이상이고 3 이하인 자연수를 의미하는 방법.