[특허]구리계 금속막 식각액 조성물 및 이를 이용한 식각방법

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구리계 금속막 식각액 조성물 및 이를 이용한 식각방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C09K-013/06 C09K-013/08 C23F-001/18 H01L-021/306
출원번호	10-2015-0033284 (2015-03-10)
공개번호	10-2016-0109235 (2016-09-21)
등록번호	10-2281188-0000 (2021-07-19)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020150033284
발명자 / 주소	국인설 / 전라남도 영광군 염산면 칠산로길 -* 김보형 / 전라남도 광양시 진등길 *-, *동 호 이종문 / 인천광역시 남구 매소홀로 , 동 ****호
출원인 / 주소	동우 화인켐 주식회사 / 전라북도 익산시 약촌로 *** (신흥동)
대리인 / 주소	한양특허법인
심사청구여부	있음 (2019-01-22)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

본 발명은 조성물 총 중량에 대하여, (a) 과황산염 0.5 내지 20 중량%, (b) 불소화합물 0.01 내지 2 중량%, (c) 무기산 1 내지 10 중량%, (d) 싸이아졸 화합물 0.5 내지 3 중량%, (e) 염소화합물 0.1 내지 5 중량%, (f) 구리화합물 0.01 내지 3 중량%, (g) 유기산 또는 유기산염 0.1 내지 10 중량%, 및 (h) 잔량의 물을 포함하는 구리계 금속막 식각액 조성물 및 이를 이용한 식각방법에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

조성물 총 중량에 대하여, (a) 과황산염 0.5 내지 20 중량%, (b) 불소화합물 0.01 내지 2 중량%, (c) 무기산 1 내지 10 중량%, (d) 싸이아졸 화합물 0.5 내지 3 중량%, (e) 염소화합물 0.1 내지 5 중량%, (f) 구리화합물 0.01 내지 3 중량%, (g) 유기산 또는 유기산염 0.1 내지 10 중량%, 및 (h) 잔량의 물을 포함하며, 상기 (d) 싸이아졸 화합물은 4-메틸싸이아졸, 4-아미노싸이아졸, 4-카르복시싸이아졸 및 에틸싸이아졸로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상을 포함하는 것을

발명자의 다른 특허 :

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[국제] ETCHING LIQUID FOR A COPPER/TITANIUM MULTILAYER THIN FILM | ADANIYA TOMOYUKI, OKABE SATOSHI, GOTOU TOSHIYUKI, MARUYAMA TAKETO, KOBAYASHI KAZUKI, TANAKA KEIICHI, NAKAMURA WATARU, KITOH KENICHI, TANAKA TETSUNORI
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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