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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0034769 (2015-03-13) |
공개번호 | 10-2015-0035948 (2015-04-07) |
등록번호 | 10-1605451-0000 (2016-03-16) |
우선권정보 | 미국(US) 60/897,982 (2007-01-26) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150034769 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-04-10) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
조사선 감수성 성분 및 적어도 2종의 상이한 노볼락 수지를 포함하는 포토레지스트 조성물이 제공된다.일 측면으로, 본 발명의 포토레지스트는 예컨대 수성 알칼리 현상액중에 초당 800 옹스트롬 이상의 매우 높은 용해율을 나타낸다.다른 측면으로, 본 발명의 포토레지스트는 예컨대 100 mJ/㎠ 이하의 우수한 광속도를 나타낼 수 있다.
(i) 중합성 디아조나프토퀴논 물질 및 비중합성 디아조나프토퀴논 광활성 화합물을 포함하는 조사선 감수성 성분; 및(ii) (2,5-크실레놀)-(m-크레졸)-(p-크레졸) 포름알데하이드 수지 및 벤즈알데하이드-살리실알데하이드 노볼락 수지를 포함하는 적어도 2종의 상이한 노볼락 수지;를 포함하며,60 mJ/㎠ 이하의 광속도를 나타내고,여기서,상기 (2,5-크실레놀)-(m-크레졸)-(p-크레졸) 포름알데하이드 수지, 벤즈알데하이드-살리실알데하이드 노볼락 수지 및 중합성 디아조나프토퀴논 물질의 총중량을 기준으로, 상기 (2,5-크실레놀)-
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