초록

조사선 감수성 성분 및 적어도 2종의 상이한 노볼락 수지를 포함하는 포토레지스트 조성물이 제공된다.일 측면으로, 본 발명의 포토레지스트는 예컨대 수성 알칼리 현상액중에 초당 800 옹스트롬 이상의 매우 높은 용해율을 나타낸다.다른 측면으로, 본 발명의 포토레지스트는 예컨대 100 mJ/㎠ 이하의 우수한 광속도를 나타낼 수 있다.

대표청구항 ▼

(i) 중합성 디아조나프토퀴논 물질 및 비중합성 디아조나프토퀴논 광활성 화합물을 포함하는 조사선 감수성 성분; 및(ii) (2,5-크실레놀)-(m-크레졸)-(p-크레졸) 포름알데하이드 수지 및 벤즈알데하이드-살리실알데하이드 노볼락 수지를 포함하는 적어도 2종의 상이한 노볼락 수지;를 포함하며,60 mJ/㎠ 이하의 광속도를 나타내고,여기서,상기 (2,5-크실레놀)-(m-크레졸)-(p-크레졸) 포름알데하이드 수지, 벤즈알데하이드-살리실알데하이드 노볼락 수지 및 중합성 디아조나프토퀴논 물질의 총중량을 기준으로, 상기 (2,5-크실레놀)-

(i) 중합성 디아조나프토퀴논 물질 및 비중합성 디아조나프토퀴논 광활성 화합물을 포함하는 조사선 감수성 성분; 및(ii) (2,5-크실레놀)-(m-크레졸)-(p-크레졸) 포름알데하이드 수지 및 벤즈알데하이드-살리실알데하이드 노볼락 수지를 포함하는 적어도 2종의 상이한 노볼락 수지;를 포함하며,60 mJ/㎠ 이하의 광속도를 나타내고,여기서,상기 (2,5-크실레놀)-(m-크레졸)-(p-크레졸) 포름알데하이드 수지, 벤즈알데하이드-살리실알데하이드 노볼락 수지 및 중합성 디아조나프토퀴논 물질의 총중량을 기준으로, 상기 (2,5-크실레놀)-(m-크레졸)-(p-크레졸) 포름알데하이드 수지가 50 내지 65 중량%의 양으로 존재하고; 상기 벤즈알데하이드-살리실알데하이드 노볼락 수지가 5 내지 30 중량%의 양으로 존재하며; 상기 중합성 디아조나프토퀴논 물질이 10 내지 30 중량%의 양으로 존재하고;상기 (2,5-크실레놀)-(m-크레졸)-(p-크레졸) 포름알데하이드 수지, 벤즈알데하이드-살리실알데하이드 노볼락 수지 및 중합성 디아조나프토퀴논 물질의 총중량 100 중량%에 대하여 상대적으로, 상기 비중합성 디아조나프토퀴논 광활성 화합물이 1 내지 10 중량%의 양으로 존재하는,포토레지스트 조성물.