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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7037053 (2020-12-22) | |
공개번호 | 10-2021-0013178 (2021-02-03) | |
등록번호 | 10-2657855-0000 (2024-04-11) | |
우선권정보 | 미국(US) 62/675,939 (2018-05-24) | |
국제출원번호 | PCT/EP2019/063216 (2019-05-22) | |
국제공개번호 | WO 2019/224248 (2019-11-28) | |
번역문제출일자 | 2020-12-22 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207037053 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-04-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 중합체 성분, 광산 생성제 성분(PAG), 광활성 디아조나프토퀴논 성분(PAC), 염기 성분, 용매 성분, 및 임의적으로 헤테로환형 티올 성분을 포함하는 레지스트 조성물에 관한 것이다. 상기 중합체 성분은 유리 페놀성 하이드록시 모이어티를 가진 노볼락(Novolak) 반복 단위 및 산 절단 가능한 아세탈 모이어티에 의해 보호된 페놀성 하이드록시 모이어티를 포함하는 노볼락 반복 단위를 포함하는 노볼락 유도체이다. 아세탈 모이어티는 노볼락 페놀성 하이드록시 모이어티를 포함하는 반복 단위를 보호하는 일작용성 알킬 아세탈 모이어
중합체 성분, 광산 생성제 성분(PAG), 광활성 디아조나프토퀴논 화합물(PAC) 성분, 염기 성분, 용매 성분 및 임의의 헤테로환형 티올 성분을 포함하는 레지스트 조성물로서,상기 중합체 성분은 유리 페놀성 하이드록시 모이어티를 가진 노볼락(Novolak) 반복 단위, 및 산 절단 가능한 아세탈 모이어티에 의해 보호된 페놀성 하이드록시 모이어티를 포함하는 노볼락 반복 단위를 포함하는 노볼락 유도체이고,상기 산 절단 가능한 아세탈 모이어티는 노볼락 페놀성 하이드록시 모이어티를 포함하는 반복 단위를 보호하는 일작용성 알킬 아세탈 모이어
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