주식회사 인시스템스 / 경기도 용인시 기흥구 동백중앙로**번길 **-** ,***호(중동,대우프론티어밸리Ⅰ)
대리인 / 주소
김정현
심사청구여부
있음 (2015-03-20)
심사진행상태
등록결정(일반)
법적상태
등록
초록▼
본 발명은 반도체 제조용 설비에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼 이송을 위한 자동화 시스템에 있어서, 웨이퍼 캐리어를 이송하도록 마련되는 OHT; 상기 OHT에 의해 운반되는 웨이퍼 캐리어가 안착되는 스테이션이 일측에 구비되고, 반도체공정이 진행되도록 마련되는 공정장치; 상기 스테이션을 둘러싸는 박스형 프레임으로 이루어지고, 전면에 작업창구가 형성되는 센서부스; 상기 작업창구 일측에 설치되고, 상기 작업창구를 통과하는 작업자의 신체를 감지하도록 마련되는 광센서부; 상기 센서부스의 외부 일측에 설치되고, 상기 상기 광센서부로부터 입력된
본 발명은 반도체 제조용 설비에 관한 것으로, 반도체 웨이퍼 이송을 위한 자동화 시스템에 있어서, 웨이퍼 캐리어를 이송하도록 마련되는 OHT; 상기 OHT에 의해 운반되는 웨이퍼 캐리어가 안착되는 스테이션이 일측에 구비되고, 반도체공정이 진행되도록 마련되는 공정장치; 상기 스테이션을 둘러싸는 박스형 프레임으로 이루어지고, 전면에 작업창구가 형성되는 센서부스; 상기 작업창구 일측에 설치되고, 상기 작업창구를 통과하는 작업자의 신체를 감지하도록 마련되는 광센서부; 상기 센서부스의 외부 일측에 설치되고, 상기 상기 광센서부로부터 입력된 신호를 상기 OHT 및 상기 공정장치로 전달하도록 마련되는 통신인터페이스; 및 상기 OHT의 일측에 마련되고, 상기 통신인터페이스에 연결되도록 마련되는 OHT 입력부를 포함하는 OHT 제어 센서시스템이 제공된다. 본 발명에 따른 OHT 제어센서 시스템은 감지센서 및 제어기능이 없는 기존의 공정장치 및 OHT 자동화 설비에 부가적으로 설치됨으로써 공정장치 스테이션에 접근하는 움직임을 감지하고, 공정장치 내지 OHT의 작동을 긴급하게 중지시킬 수 있는 감지센서 및 통신인터페이스를 제공한다.
대표청구항▼
반도체 웨이퍼 이송을 위한 자동화 시스템에 있어서, 웨이퍼 캐리어를 이송하도록 마련되는 OHT(Over-head hoist transporter); 상기 OHT에 의해 운반되는 웨이퍼 캐리어가 안착되는 스테이션이 일측에 구비되고, 반도체공정이 진행되도록 마련되는 공정장치; 상기 스테이션을 둘러싸는 박스형 프레임으로 이루어지고, 전면에 작업창구가 형성되는 센서부스; 상기 작업창구 일측에 설치되고, 상기 작업창구를 통과하는 작업자의 신체를 감지하도록 마련되는 광센서부; 상기 센서부스의 외부 일측에 설치되고, 상기 상기 광센서부로부터 입
반도체 웨이퍼 이송을 위한 자동화 시스템에 있어서, 웨이퍼 캐리어를 이송하도록 마련되는 OHT(Over-head hoist transporter); 상기 OHT에 의해 운반되는 웨이퍼 캐리어가 안착되는 스테이션이 일측에 구비되고, 반도체공정이 진행되도록 마련되는 공정장치; 상기 스테이션을 둘러싸는 박스형 프레임으로 이루어지고, 전면에 작업창구가 형성되는 센서부스; 상기 작업창구 일측에 설치되고, 상기 작업창구를 통과하는 작업자의 신체를 감지하도록 마련되는 광센서부; 상기 센서부스의 외부 일측에 설치되고, 상기 상기 광센서부로부터 입력된 신호를 상기 OHT 및 상기 공정장치로 전달하도록 마련되는 통신인터페이스; 및상기 OHT의 일측에 마련되고, 상기 통신인터페이스에 연결되도록 마련되는 OHT 입력부를 포함하고,상기 광센서부는, IR램프부 및 광센서를 포함하고, 상기 센서부스는,상기 전면 작업창구의 일측 모서리를 따라 형성되고, 상기 IR램프부가 안착되도록 마련되는 IR램프 장착레일; 상기 작업창구의 타측 모서리에 구비되고, 상기 IR램프부에서 조사되는 적외선광을 감지하도록 상기 광센서가 안착되는 광센서 장착레일; 양 측면에 형성되고 상기 스테이션을 관측할 수 있도록 설치되는 투명창; 및상면에 상기 웨이퍼 캐리어가 출납될 수 있도록 개구로 마련되는 출입구를 포함하고,상기 통신인터페이스는, 상기 센서부스의 후면 일측에 설치되는 외함; 상기 외함 전면에 배치되고, 상기 센서부의 신호를 수신하도록 마련되는 직렬 I/O 포트; 상기 외함 전면에 배치되고, 상기 공정장치와 신호를 송수신하도록 마련되는 제 1 병렬 I/O 포트; 상기 외함 전면에 배치되고, 상기 OHT에 신호를 송신하도록 마련되는 제 2 병렬 I/O 포트;상기 광센서부의 신호 입력 여부를 표시하도록 상기 외함 일측에 설치되는 LED표시부; 상기 광센서부의 신호 입력 여부를 상기 공정장치로 송신하고, 상기 공정장치로부터 입력되는 신호에 따라 상기 OHT에 신호를 송신하는 제어부를 포함하는 OHT 제어 센서시스템.
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