다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기
| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
|---|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) |
|
|
| 출원번호 | 10-2015-0064341 (2015-05-08) | |
| 공개번호 | 10-2016-0132246 (2016-11-17) | |
| 등록번호 | 10-1703219-0000 (2017-01-31) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150064341 | |
| 발명자 / 주소 |
|
|
| 출원인 / 주소 |
|
|
| 대리인 / 주소 |
|
|
| 심사청구여부 | 있음 (2015-05-08) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 챔버 하우징을 포함하며 내부에 스퍼터링 공정이 진행되는 공간을 제공하는 챔버부와, 스퍼터링 타겟을 포함하는 스퍼터링 타겟부와 박막이 증착되는 평판 기판을 지지하며 상기 스퍼터링 타겟과 대향하는 기판 지지부 및 상기 평판 기판의 외측부를 마스킹하는 마스킹부를 구비하며, 상기 마스킹부는 상기 평판 기판의 상부에 위치하며, 내측에 상기 평판 기판의 박막 영역에 대응되는 크기의 마스크 홀을 구비하여 상기 평판 기판의 비박막 영역을 마스킹하는 플로팅 마스크 및 상기 플로팅 마스크와 전기적으로 절연되어 상기 플로팅 마스크의 상부에
챔버 하우징을 포함하며 내부에 스퍼터링 공정이 진행되는 공간을 제공하는 챔버부와, 스퍼터링 타겟을 포함하는 스퍼터링 타겟부와 박막이 증착되는 평판 기판을 지지하며 상기 스퍼터링 타겟과 대향하는 기판 지지부 및 상기 평판 기판의 외측부를 마스킹하는 마스킹부를 구비하며,상기 마스킹부는상기 평판 기판의 상부에 위치하며, 내측에 상기 평판 기판의 박막 영역에 대응되는 크기의 마스크 홀을 구비하여 상기 평판 기판의 비박막 영역을 마스킹하는 플로팅 마스크 및상기 플로팅 마스크와 전기적으로 절연되고 그라운드에 연결되며, 상기 플로팅 마스크의 상
Copyright KISTI. All Rights Reserved.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.