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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0064390 (2015-05-08) | |
공개번호 | 10-2016-0132248 (2016-11-17) | |
등록번호 | 10-1690296-0000 (2016-12-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150064390 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-05-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 마스킹 처리된 기판의 노광면에 자외선을 조사하는 노광장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 자외선을 최대한 평행화시켜서 기판의 노광면에서 수직된 방향으로 조사되도록 한 자외선의 평행성이 행상된 기판 노광장치에 관한 것이다.본 발명에 따른 자외선의 평행성이 향상된 기판 노광장치는 자외선을 발산하는 UV램프;상기 UV램프의 후방을 감싸 입사되는 자외선을 전방으로 반사시키는 반사갓;상기 UV램프의 전방에 배치되어서 입사되는 자외선을 굴절시켜 준평행광으로 변환하는 굴절판세트; 굴절판세트를 통과하여 입사되는 준평행광을 평행광으로
자외선을 발산하는 UV램프;상기 UV램프의 후방을 감싸 입사되는 자외선을 전방으로 반사시키는 반사갓;상기 UV램프의 전방에 배치되어서 입사되는 자외선을 굴절시켜 준평행광으로 변환하는 굴절판세트;상기 굴절판세트를 통과하여 입사되는 준평행광을 평행광으로 변환하여 기판의 노광면으로 조사하는 평행광렌즈;를 포함하여 이루어지되, 상기 굴절판세트는 판 구조의 굴절판들이 다각형 구조를 가지며 수직방향으로 세워지는 것을 특징으로 하는 자외선의 평행성이 향상된 기판 노광장치.
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