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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0091152 (2015-06-26) | |
등록번호 | 10-1574737-0000 (2015-11-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150091152 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-06-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
직접 노광 장치는 제1 방향을 따라 배치되고 평행광 어레이를 발산하는 된 평행 광원 어레이 및 제2 방향을 따라 배치되어 상기 평행광 어레이의 가상 연장선 상에 교차되는 회전축을 포함하고, 그 회전 과정에서 상기 평행광 어레이를 수신하여 노광 스테이지에 적어도 하나의 경사진 드로잉 라인을 제공하는 폴리곤 미러를 포함한다. 따라서, 직접 노광 장치는 경사진 폴리곤 미러의 회전 과정에서 평행광 어레이를 수신하여 노광 스테이지에 경사진 드로잉 라인을 제공할 수 있다.
제1 방향을 따라 배치되고 평행광 어레이를 발산하는 평행 광원 어레이; 및제2 방향을 따라 배치되어 상기 평행광 어레이의 가상 연장선 상에 교차되는 회전축을 포함하고, 그 회전 과정에서 상기 평행광 어레이를 수신하여 상기 제2 방향과 수직하고 노광 스테이지의 진행 방향으로부터 경사진(상기 노광 스테이지의 진행 방향과 드로잉 라인이 평행 또는 수직이 아닌) 적어도 하나의 드로잉 라인을 상기 노광 스테이지에 제공하는 폴리곤 미러를 포함하는 직접 노광 장치.
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