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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

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콜드트랩 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/02
  • B01D-008/00
출원번호 10-2015-0104005 (2015-07-22)
공개번호 10-2017-0011411 (2017-02-02)
등록번호 10-1716779-0000 (2017-03-09)
DOI http://doi.org/10.8080/1020150104005
발명자 / 주소
  • 반채헌 / 충북 청주시 흥덕구 가경로 **, ***동 ****호 (가경동, 수정아파트)
출원인 / 주소
  • 반채헌 / 충북 청주시 흥덕구 가경로 **, ***동 ****호 (가경동, 수정아파트)
대리인 / 주소
  • 이재만
심사청구여부 있음 (2015-07-22)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 콜드트랩에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 입구와 출구 및 제습공간이 형성되는 본체와, 경사진 날개가 형성되고 상기 본체의 입구에 설치되어 상기 본체의 입구로 유입되는 공정가스가 상기 날개에 부딪히면서 회전되는 안내부와, 다수의 냉각핀을 구비하고 상기 냉각핀이 상기 본체의 제습공간에 배치되는 적어도 2개의 제습부 및 상기 본체의 둘레에 배치되어 상기 제습부를 냉각시키는 냉각부를 포함하되, 상기 본체의 입구로 상기 공정가스가 유입되면 상기 안내부를 거치면서 상기 공정가스가 소용돌이치면서 상기 제습부에 의해서 냉각되는 콜드트랩

대표청구항

입구와 출구 및 제습공간이 형성되는 본체;경사진 날개가 형성되고 상기 본체의 입구에 설치되어 상기 본체의 입구로 유입되는 공정가스가 상기 날개에 부딪히면서 회전되는 안내부;다수의 냉각핀을 구비하고 상기 냉각핀이 상기 본체의 제습공간에 배치되는 적어도 2개의 제습부; 및상기 본체의 둘레에 배치되어 상기 제습부를 냉각시키는 냉각부;를 포함하되,상기 냉각부는,냉각수가 출입하는 입구와 출구가 형성되고 상기 본체의 둘레에 배치되는 하우징과, 상기 제습부와 상기 하우징 사이에 배치되고 상기 냉각수가 상기 본체의 둘레를 회전하면서 흐르도록 안내

이 특허에 인용된 특허 (3)

  1. [한국] 일체형 냉각 트랩 | 반채헌
  2. [한국] 스크러버용 제습장치 | 김재민, 김선기, 임재신
  3. [일본] SPIRAL CPU HEAT SINK | HATAKEYAMA TATSUO
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