초록

본 발명은 스털링 냉동기를 사용한 냉각 트랩을 제공한다.냉동기(14)는 방열부(25)와 흡열부(24) 사이에서 작동 가스를 왕복시키도록 프리 피스톤(35)을 구동하는 구동 피스톤(31)과, 하우징(22)의 진동을 측정하는 진동 센서(41)와, 구동 피스톤(31)이 구동되었을 때의 하우징(22)의 진동을 저감시키는 동흡진기(45)와, 하우징(22)이 진공 장치에 접속된 상태에서, 구동 피스톤(31)이 구동되었을 때의 하우징(22)의 진동을 저감시키기 위하여 구동 주파수를 조정하는 주파수 조정 장치를 구비한다.

대표청구항 ▼

냉동기와, 상기 냉동기와 진공 용기 사이에 배치되는 트랩 용기와, 상기 트랩 용기 내에 배치되어, 기체 분자를 포획하도록 상기 냉동기에 의하여 냉각되는 냉각 패널을 갖는 냉각 트랩에 있어서,상기 냉각 트랩에서의 진동을 검출하는 진동 센서를 구비하고,상기 냉동기는,하우징과,작동 가스를 압축, 팽창시키기 위하여 상기 하우징 내에서 왕복 운동 가능한 피스톤과,상기 하우징의 외측에 설치되어 있으며, 상기 피스톤이 구동되었을 때의 진동을 저감시키는 동흡진기와,상기 진동 센서로부터의 신호에 기초하여, 상기 동흡진기에 의한 진동의 저감 효과가

냉동기와, 상기 냉동기와 진공 용기 사이에 배치되는 트랩 용기와, 상기 트랩 용기 내에 배치되어, 기체 분자를 포획하도록 상기 냉동기에 의하여 냉각되는 냉각 패널을 갖는 냉각 트랩에 있어서,상기 냉각 트랩에서의 진동을 검출하는 진동 센서를 구비하고,상기 냉동기는,하우징과,작동 가스를 압축, 팽창시키기 위하여 상기 하우징 내에서 왕복 운동 가능한 피스톤과,상기 하우징의 외측에 설치되어 있으며, 상기 피스톤이 구동되었을 때의 진동을 저감시키는 동흡진기와,상기 진동 센서로부터의 신호에 기초하여, 상기 동흡진기에 의한 진동의 저감 효과가 높아지도록 상기 피스톤의 구동 주파수를 조정하는 구동 주파수 조정 수단을 구비하고,상기 구동 주파수 조정 수단은,상기 진동 센서로부터의 신호를 처리하는 밴드 패스 필터와,상기 밴드 패스 필터에서 처리된 신호에 기초하여 상기 진동을 작게 하도록 결정된 제어 신호를 출력하는 연산기와,상기 연산기로부터의 상기 제어 신호에 따른 구동 주파수에서 상기 피스톤을 구동시키는 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는, 냉각 트랩.