초록

칠러와 연결된 공정설비에 인가되는 부하량을 산출하고, 산출된 부하량으로부터 공정설비에 부하가 인가되는지를 판단하여 공정설비에 부하가 인가되지 않는 경우, 압축기를 최소 회전수로 운전하고 핫가스 밸브를 최대의 개도율로 개방하며, 공정설비에 부하가 인가되는 경우, 압축기를 산출된 부하량에 따라 기설정된 회전수로 운전하고 핫가스 밸브를 최소 개도율로 개방함으로써, 압축기에 의한 전력소모가 감소되고 핫가스 밸브로부터 공급되는 핫가스를 브라인의 가열 소스(source)로 사용하여 브라인 히터에 의한 전력소모가 감소되도록 한다.

대표청구항 ▼

냉매 라인에 속도 가변형 압축기와, 상기 압축기의 후단과 팽창 밸브의 후단을 연결하는 분기 경로에 설치된 개도 가변형 전자식 핫가스 밸브를 구비하는 반도체 공정용 칠러에 적용되며,상기 칠러와 연결된 공정설비에 인가되는 부하량을 산출하는 단계;상기 산출된 부하량으로부터 상기 공정설비에 부하가 인가되는지를 판단하는 단계;상기 공정설비에 부하가 인가되지 않는 경우, 상기 압축기를 최소 회전수로 운전하고, 상기 핫가스 밸브를 최대의 개도율로 개방하는 단계; 및상기 공정설비에 부하가 인가되는 경우, 상기 압축기를 상기 산출된 부하량에 따라

냉매 라인에 속도 가변형 압축기와, 상기 압축기의 후단과 팽창 밸브의 후단을 연결하는 분기 경로에 설치된 개도 가변형 전자식 핫가스 밸브를 구비하는 반도체 공정용 칠러에 적용되며,상기 칠러와 연결된 공정설비에 인가되는 부하량을 산출하는 단계;상기 산출된 부하량으로부터 상기 공정설비에 부하가 인가되는지를 판단하는 단계;상기 공정설비에 부하가 인가되지 않는 경우, 상기 압축기를 최소 회전수로 운전하고, 상기 핫가스 밸브를 최대의 개도율로 개방하는 단계; 및상기 공정설비에 부하가 인가되는 경우, 상기 압축기를 상기 산출된 부하량에 따라 기설정된 회전수로 운전하고, 상기 핫가스 밸브를 최소 개도율로 개방하는 단계를 포함하며,상기 부하가 인가되지 않는 경우에서 상기 압축기에 의한 전력소모가 감소되고, 상기 핫가스 밸브로부터 공급되는 핫가스를 브라인의 가열 소스(source)로 사용하여 브라인 히터에 의한 전력소모가 감소되고,상기 부하량은 다음의 식으로부터 산출되는 것을 특징으로 하는 반도체 공정용 칠러의 전력 절감방법.부하량(kJ/sec) = 브라인 열량(kJ/sec℃) * 온도 편차(℃)여기서, 브라인 열량(kJ/sec℃) = 유량(㎥/sec) * 밀도(kg/㎥) * 비열(kJ/kg℃)온도 편차는 브라인 경로상 인렛에 설치된 온도센서 Sa와 아웃렛에 설치된 온도센서 Sb로부터 측정된 온도값의 차이이고, 유량은 상기 인렛에 설치된 유량계로부터 측정된 유량값임.