[특허]열교환식 칠러 장치

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[한국특허] 열교환식 칠러 장치
Heat exchange typed chiller apparatus 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/67 F16K-037/00 H01L-021/324 H01L-021/66
출원번호	10-2016-0078038 (2016-06-22)
등록번호	10-1786564-0000 (2017-10-11)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020160078038
발명자 / 주소	권진한 / 경기도 수원시 영통구 매영로 *-, *호 (매탄동) 김동욱 / 경기도 오산시 수청로 , 동 호(금암동, 죽미마을휴먼시아휴튼아파트) 송인환 / 경기도 화성시 병점로 *, 동 **호 (병점동, 신창비바훼밀리차) 반윤식 / 경기도 오산시 수청로 *, 동 호 (죽미마을휴먼시아*단지아파트)
출원인 / 주소	유니셈(주) / 경기도 화성시 동탄면 장지남길 *-
대리인 / 주소	정현영
심사청구여부	있음 (2016-06-22)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록

냉각수에 의해 열교환기에 손상을 주지 않거나, 히터의 전력소모를 최소화할 수 있는 열교환식 칠러 장치가 개시된다. 공정 챔버로부터 회수된 냉매가, 히터를 경유하는 제1경로와, 열교환기와 냉매 유량제어밸브를 경유하는 제2경로로 분기하여 흐르고, 상기 제1 및 제2경로를 경유한 냉매가 혼합되는 과정에서, 상기 공정 챔버의 공급측과 회수측에 각각 설치된 온도센서에서 감지된 온도에 기초하여 상기 냉매 유량제어밸브의 개도가 조절되어 상기 혼합된 냉매의 온도가 기설정된 온도로 조절된다.

대표청구항

열교환식 칠러 장치로서,공정 챔버로부터 회수된 냉매가 각각 제1경로와 제2경로로 분기하여 흐르고,상기 제1경로에 히터와 냉매탱크가 순차로 설치되고, 상기 제2경로에 열교환기와 냉매 유량제어밸브가 순차로 설치되며,상기 냉매 유량제어밸브는, 상기 공정 챔버의 공급측과 회수측에 각각 설치된 온도센서에서 감지된 온도에 기초하여 개도가 조절되고,상기 제1 및 제2경로를 경유한 냉매는 배관에서 혼합되어 온도가 기설정된 온도로 조절되는 것을 특징으로 하는 열교환식 칠러 장치.

이 특허에 인용된 특허 (2)

[한국] 반도체 제조설비의 온도제어 장치 및 그 제어방법 | 최기봉, 안세훈, 김병호
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[일본] TEMPERATURE CONTROLLER, EXPOSURE DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR | OGIWARA TSUKASA, ARAI KOJI, HATANAKA KOICHI, MURAKAMI HIRONOBU, SUZUKI KENJI
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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