초록

본 발명의 일 실시예에 따른 극자외선 발생 장치는, 내부 공간을 포함하는 챔버, 상기 내부 공간에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 생성 유닛, 상기 내부 공간에 배치되고, 상기 플라즈마로부터 생성된 광을 집광하는 집광 유닛, 그리고 상기 내부 공간의 전방향(all-direction) 모니터링이 가능한 모니터링 유닛을 포함한다.

대표청구항

내부 공간을 포함하는 챔버;상기 내부 공간에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 생성 유닛;상기 내부 공간 내에 배치되고, 상기 플라즈마로부터 생성된 광을 집광하는 집광 유닛; 그리고상기 내부 공간 내의 상기 집광 유닛의 일측에 배치되고, 상기 집광 유닛의 내벽 및 상기 챔버의 내벽을 촬영하여 상기 집광 유닛의 내벽 및 상기 챔버의 내벽 상에 유발되는 이물질의 산포를 모니터링하는 모니터링 유닛을 포함하는, 극자외선 발생 장치.

내부 공간을 포함하는 챔버;상기 내부 공간에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 생성 유닛;상기 내부 공간 내에 배치되고, 상기 플라즈마로부터 생성된 광을 집광하는 집광 유닛; 그리고상기 내부 공간 내의 상기 집광 유닛의 일측에 배치되고, 상기 집광 유닛의 내벽 및 상기 챔버의 내벽을 촬영하여 상기 집광 유닛의 내벽 및 상기 챔버의 내벽 상에 유발되는 이물질의 산포를 모니터링하는 모니터링 유닛을 포함하는, 극자외선 발생 장치.