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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0182159 (2020-12-23) | |
공개번호 | 10-2022-0091044 (2022-06-30) | |
등록번호 | 10-2632884-0000 (2024-01-30) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200182159 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-12-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명에 따른 도핑된 산화아연-환원된 그래핀 산화물 나노 복합체 박막의 제조방법은 아연전구체, 도펀트전구체 및 그래핀 산화물을 분산액에 혼합하여 혼합액을 준비하는 단계, 상기 혼합액을 증착할 기판을 준비하는 단계, 상기 혼합액을 상기 기판에 전기분사법으로 분사하는 단계 및 상기 혼합액이 분사된 상기 기판을 어닐링하는 단계를 포함한다.
도핑된 산화아연-환원된 그래핀 산화물 나노 복합체 박막의 제조방법으로서, 아연전구체, 도펀트전구체 및 그래핀 산화물을 분산액에 혼합하여 혼합액을 준비하는 단계;상기 혼합액을 증착할 기판을 준비하는 단계;상기 혼합액을 상기 기판에 전기분사법으로 8kV 이상 10kV 이하의 전압을 인 가하여 분사하는 단계; 및상기 혼합액이 분사된 상기 기판을 어닐링하는 단계를 포함하고,상기 어닐링은 아르곤분위기에서수행되고, 90°C/분 이상 110°C/분 이하의 승온 속도로 600°C 이상 1000°C 이하의 온도로 승온한 후 20분 내지 40분 동안
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