최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2015-0122022 (2015-08-28) | |
공개번호 | 10-2017-0026829 (2017-03-09) | |
등록번호 | 10-2465328-0000 (2022-11-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150122022 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2020-08-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 일 실시예에 따른 극자외선 발생 장치는, 내부 공간을 포함하는 챔버, 상기 내부 공간에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 생성 유닛, 상기 내부 공간에 배치되고, 상기 플라즈마로부터 생성된 광을 집광하는 집광 유닛, 그리고 상기 내부 공간의 전방향(all-direction) 모니터링이 가능한 모니터링 유닛을 포함한다.
내부 공간을 포함하는 챔버;상기 내부 공간에 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 생성 유닛;상기 내부 공간 내에 배치되고, 상기 플라즈마로부터 생성된 광을 집광하는 집광 유닛; 그리고상기 내부 공간 내의 상기 집광 유닛의 일측에 배치되고, 상기 집광 유닛의 내벽 및 상기 챔버의 내벽을 촬영하여 상기 집광 유닛의 내벽 및 상기 챔버의 내벽 상에 유발되는 이물질의 산포를 모니터링하는 모니터링 유닛을 포함하는, 극자외선 발생 장치.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.