최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2015-0125572 (2015-09-04) | |
공개번호 | 10-2017-0028668 (2017-03-14) | |
등록번호 | 10-1808239-0000 (2017-12-06) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150125572 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2015-09-04) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명은 제1지지부 상에 에칭방지 댐이 형성되어, 제1지지부가 일정 형태를 유지함으로써 제1지지부의 열용량이 작고, 온도 균일성이 향상된 마이크로 히터 및 마이크로 센서에 관한 것이다.
다공층으로 형성된 기판;상기 기판 상에 형성되는 히터전극으로서, 상기 기판 상에서 연장되는 발열성의 발열배선을 포함하는 히터전극;상기 히터전극을 지지하는 부분을 제외한 상기 기판의 영역에서, 상기 발열배선을 둘러싸도록 상기 기판의 상면에서 하면까지 관통되어 형성된 공간인 에어갭; 및 상기 기판 상에서 형성되어 상기 발열배선과 상기 에어갭의 사이에서 상기 발열배선에 인접하도록 배치되는 에칭방지 댐;을 포함하는 마이크로 히터.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.