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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0143319 (2015-10-14) | |
공개번호 | 10-2017-0044234 (2017-04-25) | |
등록번호 | 10-1762350-0000 (2017-07-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150143319 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2015-10-14) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
세척효율을 향상시킬 수 있는 세척 장치 및 이를 이용한 세척 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 마이크로 버블을 이용한 실리콘 웨이퍼 세척 장치는 복수개의 웨이퍼가 부착된 빔; 상기 웨이퍼 하부에 위치하고, 복수개의 노즐을 포함하여 버블 및 세척액을 상기 노즐로 균일하게 분배시키는 노즐부; 버블 및 세척액을 상기 노즐부로 이송시키는 펌프; 및 상기 펌프와 노즐부를 연결하고, 버블 및 세척액을 임시 저장하고, 순환시키는 액상순환라인;을 포함하고, 상기 노즐은 제1노즐 및 제2노즐을 포함하고, 상기 노즐은 하나의 웨이퍼와 다른 하
실리콘 잉곳을 쏘잉하여 생성된 복수개의 웨이퍼를 세척하는 실리콘 웨이퍼 세척 장치에 있어서,복수개의 웨이퍼가 부착된 빔;상기 웨이퍼 하부에 위치하고, 복수개의 노즐을 포함하여 버블 및 세척액을 상기 노즐로 균일하게 분배시키는 노즐부;상기 버블 및 세척액을 상기 노즐부로 이송시키는 펌프; 및상기 펌프와 노즐부를 연결하고, 버블 및 세척액을 임시 저장하고, 순환시키는 액상순환라인;을 포함하고,상기 노즐은 제1노즐 및 제2노즐을 포함하고, 상기 노즐은 하나의 웨이퍼와 다른 하나의 웨이퍼 사이의 틈 하부에 위치하며, 상기 버블은 제1노즐에
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