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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2015-0160081 (2015-11-16) |
공개번호 | 10-2017-0056813 (2017-05-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150160081 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 (a) 하기 화학식 1로 표시되는 비이온성 계면활성제; (b) 유기산; (c) 유기알칼리; 및 (d) 초순수 를 함유하고, 또한 pH가 3 이상 8 미만인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정액 조성물, 및 이를 이용한 세정 방법에 대한 것이다.[화학식 1]R1-[(EO)x-(PO)y]z-R2(상기 식에서, EO는 에틸렌옥사이드이고, 상기 PO는 프로필렌옥사이드 또는 메틸프로필렌옥사이드이며, 상기 EO와 PO는 랜덤 부가 또는 2 이상의 블록 부가에 의해 결합되고, 상기 x개의 EO와 y개의 PO의 서열 순서는 임의이며, 상기
(a) 하기 화학식 1로 표시되는 비이온성 계면활성제; (b) 유기산; (c) 유기알칼리; 및 (d) 초순수 를 함유하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정액 조성물[화학식 1]R1-[(EO)x-(PO)y]z-R2(상기 식에서, EO는 에틸렌옥사이드이고, 상기 PO는 프로필렌옥사이드 또는 메틸프로필렌옥사이드이며, 상기 EO와 PO는 랜덤 부가 또는 2 이상의 블록 부가에 의해 결합되고, 상기 x개의 EO와 y개의 PO의 서열 순서는 임의이며, 상기 x, y 및 z은 각각 독립적으로 1 내지 40의 정수이고, x/(x+y)는 0.1 내지
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