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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0012366 (2017-01-26) |
등록번호 | 10-1828252-0000 (2018-02-06) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170012366 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2017-01-26) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체를 포함하는 웨이퍼 다이싱용 세정제 조성물.[화학식 1]R1-(PO)x(EO)y(PO)z-R2여기서, 상기 R1은 C8~20이고, R2는 -OH 또는 C8~20이며, x는 1~20, y는 5~20, z는 1~20이다.본 발명에 따른 웨이퍼 다이싱용 세정제 조성물은 웨이퍼 다이싱시 사용되는 세정제의 미립자 제거성능을 향상시키는 동시에, 웨이퍼에 대한 열적 손상을 완화시키고, 미생물에 대한 내성을 향상시키는 효과가 있다.
다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체와 다음 화학식 2에 따른 비이온성계면활성제인 에틸렌옥사이드가 7:3의 중량비율로 혼합된 세정제 조성물에,5-클로로-2-(2,4-디클로로페녹시)페놀을 다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체 100중량부 기준으로 25중량부로 더 포함하고,1,2,3-벤조트리아졸을 다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체 100중량부 기준으로 20중량부로 더 포함하며,크롬산 스트론튬을 다음
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