초록 ▼

본 발명은 (a) 하기 화학식 1로 표시되는 비이온성 계면활성제; (b) 유기산; (c) 유기알칼리; 및 (d) 초순수 를 함유하고, 또한 pH가 3 이상 8 미만인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정액 조성물, 및 이를 이용한 세정 방법에 대한 것이다.[화학식 1]R1-[(EO)x-(PO)y]z-R2(상기 식에서, EO는 에틸렌옥사이드이고, 상기 PO는 프로필렌옥사이드 또는 메틸프로필렌옥사이드이며, 상기 EO와 PO는 랜덤 부가 또는 2 이상의 블록 부가에 의해 결합되고, 상기 x개의 EO와 y개의 PO의 서열 순서는 임의이며, 상기

본 발명은 (a) 하기 화학식 1로 표시되는 비이온성 계면활성제; (b) 유기산; (c) 유기알칼리; 및 (d) 초순수 를 함유하고, 또한 pH가 3 이상 8 미만인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정액 조성물, 및 이를 이용한 세정 방법에 대한 것이다.[화학식 1]R1-[(EO)x-(PO)y]z-R2(상기 식에서, EO는 에틸렌옥사이드이고, 상기 PO는 프로필렌옥사이드 또는 메틸프로필렌옥사이드이며, 상기 EO와 PO는 랜덤 부가 또는 2 이상의 블록 부가에 의해 결합되고, 상기 x개의 EO와 y개의 PO의 서열 순서는 임의이며, 상기 x, y 및 z은 각각 독립적으로 1 내지 40의 정수이고, x/(x+y)는 0.1 내지 1 의 정수이며, 상기 R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소원자(-H), 수산기(-OH), 탄소수가 1 내지 30의 직쇄상 또는 분지상의 알킬기, 탄소수가 1 내지 30의 직쇄상 또는 분지상의 알케닐기임).

대표청구항 ▼

(a) 하기 화학식 1로 표시되는 비이온성 계면활성제; (b) 유기산; (c) 유기알칼리; 및 (d) 초순수 를 함유하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정액 조성물[화학식 1]R1-[(EO)x-(PO)y]z-R2(상기 식에서, EO는 에틸렌옥사이드이고, 상기 PO는 프로필렌옥사이드 또는 메틸프로필렌옥사이드이며, 상기 EO와 PO는 랜덤 부가 또는 2 이상의 블록 부가에 의해 결합되고, 상기 x개의 EO와 y개의 PO의 서열 순서는 임의이며, 상기 x, y 및 z은 각각 독립적으로 1 내지 40의 정수이고, x/(x+y)는 0.1 내지

(a) 하기 화학식 1로 표시되는 비이온성 계면활성제; (b) 유기산; (c) 유기알칼리; 및 (d) 초순수 를 함유하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정액 조성물[화학식 1]R1-[(EO)x-(PO)y]z-R2(상기 식에서, EO는 에틸렌옥사이드이고, 상기 PO는 프로필렌옥사이드 또는 메틸프로필렌옥사이드이며, 상기 EO와 PO는 랜덤 부가 또는 2 이상의 블록 부가에 의해 결합되고, 상기 x개의 EO와 y개의 PO의 서열 순서는 임의이며, 상기 x, y 및 z은 각각 독립적으로 1 내지 40의 정수이고, x/(x+y)는 0.1 내지 1 의 정수이며, 상기 R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소원자(-H), 수산기(-OH), 탄소수가 1 내지 30의 직쇄상 또는 분지상의 알킬기, 탄소수가 1 내지 30의 직쇄상 또는 분지상의 알케닐기임).