초록 ▼

본 발명은 반도체 팹 유틸리티 모듈화 설계를 이용한 시공방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 장비의 잦은 변경에 유연하게 대처하여 설계 변경에 따른 공기 지연 리스크를 최소화하고, 반도체 팹 유틸리티 모듈화를 통해 시공 인력, 시공 시간을 줄이는 등 효율적인 시공을 할 수 있으며, 반도체 팹 유틸리티 모듈을 통해 1차적으로 사전 배관 작업을 수행함으로써, 시공시 배관 등의 리프팅 작업, 현장 배관 용접과정을 최소화하여 시공 기간을 현저히 단축할 수 있으며, 양중관리 투입 인력을 감소할 수 있고, 균일한 품질을 확보 수 있으며, 초기

본 발명은 반도체 팹 유틸리티 모듈화 설계를 이용한 시공방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 장비의 잦은 변경에 유연하게 대처하여 설계 변경에 따른 공기 지연 리스크를 최소화하고, 반도체 팹 유틸리티 모듈화를 통해 시공 인력, 시공 시간을 줄이는 등 효율적인 시공을 할 수 있으며, 반도체 팹 유틸리티 모듈을 통해 1차적으로 사전 배관 작업을 수행함으로써, 시공시 배관 등의 리프팅 작업, 현장 배관 용접과정을 최소화하여 시공 기간을 현저히 단축할 수 있으며, 양중관리 투입 인력을 감소할 수 있고, 균일한 품질을 확보 수 있으며, 초기 투자비의 감소 효과를 기대할 수 있는 반도체 팹 유틸리티 모듈화 설계를 이용한 시공방법에 관한 것이다.

대표청구항 ▼

반도체 생산공정별크린 서브 팹(clean sub-fab)과 설비 서브 팹(facility sub-fab)의 설계를 표준화하고, 표준화된 설계를 기초로 각 서브 팹에 설치되는 복수의 반도체 팹 유틸리티를 모듈화하는 반도체 팹 유틸리티 모듈화 설계시스템에 있어서,각 반도체 생산장비에 연결되며 배관, 덕트, 케이블 중 적어도 어느 하나를 포함하는 상기 반도체 팹 유틸리티를 베이(bay) 별로 분류하는 S1단계와;각 반도체 생산장비의 제원을 통해 상기 반도체 팹 유틸리티의 규격을 표준화하는 S2단계와;상기 표준화된 반도체 팹 유틸리티들을

반도체 생산공정별크린 서브 팹(clean sub-fab)과 설비 서브 팹(facility sub-fab)의 설계를 표준화하고, 표준화된 설계를 기초로 각 서브 팹에 설치되는 복수의 반도체 팹 유틸리티를 모듈화하는 반도체 팹 유틸리티 모듈화 설계시스템에 있어서,각 반도체 생산장비에 연결되며 배관, 덕트, 케이블 중 적어도 어느 하나를 포함하는 상기 반도체 팹 유틸리티를 베이(bay) 별로 분류하는 S1단계와;각 반도체 생산장비의 제원을 통해 상기 반도체 팹 유틸리티의 규격을 표준화하는 S2단계와;상기 표준화된 반도체 팹 유틸리티들을 각 베이 별로 조합하여 모듈화 설계하되, 상기 크린 서브 팹(clean sub-fab)과 설비 서브 팹(facility sub-fab)별로 설치되는 상기 표준화된 배관 및 덕트별로 설치공간을 구획하고 배치하는 S3단계와;상기 S3단계의 모듈화된 설계를 기초로 반도체 팹 유틸리티 모듈을 제조하는 S4단계와;상기 반도체 팹 유틸리티 모듈을 각 서브 팹에 시공하는 S5단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 팹 유틸리티 모듈화 설계를 이용한 시공방법.