초록 ▼

구리 배선의 직선성을 해치지 않으면서도 사이드 에칭을 억제할 수 있는 에칭액과 그 보급액, 및 구리 배선의 형성방법을 제공한다. 본 발명의 에칭액은, 구리의 에칭액에 있어서, 고리(環)을 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리를 포함하는 지방족헤테로고리 화합물과, 산과, 산화성 금속 이온을 포함하는 수용액이고, 상기 지방족헤테로고리 화합물은, 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소를 2개 이상 가지는 지방족헤테로고리화합물 A, 및 아미노기를 가지는 치환기로 치환된 지방족헤테로화합물 B로 이루어지는 군으로부터

구리 배선의 직선성을 해치지 않으면서도 사이드 에칭을 억제할 수 있는 에칭액과 그 보급액, 및 구리 배선의 형성방법을 제공한다. 본 발명의 에칭액은, 구리의 에칭액에 있어서, 고리(環)을 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리를 포함하는 지방족헤테로고리 화합물과, 산과, 산화성 금속 이온을 포함하는 수용액이고, 상기 지방족헤테로고리 화합물은, 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소를 2개 이상 가지는 지방족헤테로고리화합물 A, 및 아미노기를 가지는 치환기로 치환된 지방족헤테로화합물 B로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 한다. 본 발명의 구리 배선(1)의 형성방법은, 구리층의 에칭 레지스트(2)로 피복되지 않는 부분을 에칭하는 구리 배선(1)의 형성방법에 있어서, 상기 본 발명의 에칭액을 이용하여 에칭하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

구리배선을 형성하기 위한 구리의 에칭액에 있어서, 상기 에칭액은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리를 포함하는 지방족헤테로고리 화합물, 산(酸) 및 산화성 금속 이온을 포함하는 수용액이고, 상기 산은 염산으로서, 염산의 농도는 5 내지 180 g/L이며,상기 지방족헤테로고리 화합물은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소를 2개 이상 가지는 지방족헤테로고리 화합물 A, 및 아미노기를 가지는 치환기로 치환된 지방족헤테로고리 화합물 B로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 에

구리배선을 형성하기 위한 구리의 에칭액에 있어서, 상기 에칭액은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소만을 가지는 5~7원환의 지방족헤테로고리를 포함하는 지방족헤테로고리 화합물, 산(酸) 및 산화성 금속 이온을 포함하는 수용액이고, 상기 산은 염산으로서, 염산의 농도는 5 내지 180 g/L이며,상기 지방족헤테로고리 화합물은 고리를 구성하는 헤테로원자로서 질소를 2개 이상 가지는 지방족헤테로고리 화합물 A, 및 아미노기를 가지는 치환기로 치환된 지방족헤테로고리 화합물 B로 이루어진 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 에칭액.