최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2016-0011587 (2016-01-29) | |
공개번호 | 10-2017-0090795 (2017-08-08) | |
등록번호 | 10-2440451-0000 (2022-09-01) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160011587 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2020-11-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 스퍼터링 공정이 완료된 반도체 패키지를 분리하여 세척 후 트레이 등에 적재하는 각각의 공정 중 어느 하나의 공정 지연을 최소화하여 각각의 공정의 대기 시간을 줄이는 방법으로 반도체 패키지 처리의 효율성을 향상시킨 반도체 패키지 처리장치에 관한 것이다.
내측에 중공을 갖는 웨이퍼 프레임의 일면에 스퍼터링이 완료된 반도체 패키지가 접착된 필름이 부착된 웨이퍼 프레임이 공급되는 웨이퍼 프레임 공급부;상기 웨이퍼 프레임의 하측에 상기 반도체 패키지를 타격하는 이젝터핀이 구비된 이젝터와 로딩픽커에 의해 상기 웨이퍼 프레임에 접착된 필름으로부터 상기 반도체 패키지를 분리하는 반도체 패키지 분리부;상기 반도체 패키지 분리부에서 분리된 반도체 패키지들이 이송되어 반도체 패키지에 잔류하는 버(burr)를 제거하기 위한 반도체 패키지 세척부;상기 반도체 패키지 세척부에서 세척이 완료된 반도체 패키
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.