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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0012507 (2016-02-01) | |
등록번호 | 10-1677744-0000 (2016-11-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160012507 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-05-16) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 세라믹히터와 로드간 열응력 방지에 따른 세라믹히터 표면 크랙방지 구조에 관한 것이다. 본 발명은, 세라믹히터 내부의 열선 및 RF 전극의 접속 인입선인 로드와 세라믹히터간 접속부에 발생되는 열응력을 방지하여 로드보다 강도가 약한 세라믹히터의 표면쪽으로 크랙이 발생되는 것을 방지할 수 있는 구조이다.
세라믹히터 내부의 열선 및 RF전극의 접속 인입선인 로드와 세라믹히터간에 열응력 대처 구조가 구성되도록 상기 로드는, 상하 소정 간격을 두고 형성된 제1부분 및 제2부분과, 이들 부분을 상하로 연결하는 연결축과, 상기 제1부분 및 제2부분이 이루는 원형형상에 형성된 제1공간과, 상기 제2부분의 하부에 형성되고, 그 중앙에 제2공간이 형성된 상부로드부로 구성된 장력부여부를 포함하는 것을 특징으로 하는 세라믹히터와 로드간 열응력 방지에 따른 세라믹히터 표면 크랙방지 구조.
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