초록 ▼

본 발명은 기판 지지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 내부에 롤 형상 기판의 처리공간이 형성되는 처리 챔버와, 처리공간에 배치되어 수평방향으로 처리공간을 적어도 하나 이상으로 분할하는 서셉터유닛, 적어도 일부가 처리 챔버의 외측 및 내측으로 이동 가능하며, 기판의 적어도 일부를 상하방향으로 상호 이격 배치된 한 쌍의 지지부재에 고정 가능하게 하는 지지유닛을 포함함으로써, 롤 형상의 기판을 안정적으로 처리공간에서 지지 및 처리할 수 있다. 즉, 한 쌍의 지지부재의 적어도 일부 영역에 기판을 롤 타입으로 안착

본 발명은 기판 지지 장치 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 내부에 롤 형상 기판의 처리공간이 형성되는 처리 챔버와, 처리공간에 배치되어 수평방향으로 처리공간을 적어도 하나 이상으로 분할하는 서셉터유닛, 적어도 일부가 처리 챔버의 외측 및 내측으로 이동 가능하며, 기판의 적어도 일부를 상하방향으로 상호 이격 배치된 한 쌍의 지지부재에 고정 가능하게 하는 지지유닛을 포함함으로써, 롤 형상의 기판을 안정적으로 처리공간에서 지지 및 처리할 수 있다. 즉, 한 쌍의 지지부재의 적어도 일부 영역에 기판을 롤 타입으로 안착 및 밀착시키며 지지함으로써, 기판이 처리시간 동안 챔버 내에 안정적으로 배치될 수 있다. 이에, 기판의 공정 수율 증가로 인해 공정설비의 효율성 및 생산성을 증가시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

상하방향으로 상호 이격되어 배치되는 제1 지지부재 및 제2 지지부재를 포함하는 지지부와;상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재를 연결하는 적어도 하나 이상의 로드; 및상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재 중 적어도 어느 하나에 형성되어, 기판의 적어도 일부를 고정 가능하게 하는 고정부;를 포함하고, 상기 고정부는,상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재 중 적어도 어느 하나의 외측면에 요철(凹凸)을 형성하는 제1 고정부;를 포함하고, 상기 제1 고정부는,상기 지지부의 외곽영역 중 적어도 일부가 상기 상하방향으로 관통되어,

상하방향으로 상호 이격되어 배치되는 제1 지지부재 및 제2 지지부재를 포함하는 지지부와;상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재를 연결하는 적어도 하나 이상의 로드; 및상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재 중 적어도 어느 하나에 형성되어, 기판의 적어도 일부를 고정 가능하게 하는 고정부;를 포함하고, 상기 고정부는,상기 제1 지지부재 및 상기 제2 지지부재 중 적어도 어느 하나의 외측면에 요철(凹凸)을 형성하는 제1 고정부;를 포함하고, 상기 제1 고정부는,상기 지지부의 외곽영역 중 적어도 일부가 상기 상하방향으로 관통되어, 상기 지지부의 둘레방향을 따라 형성된 복수개의 삽입홈;을 포함하며, 상기 지지부의 외측면에서 함몰되는 상기 삽입홈의 적어도 일부 영역은 탄성 재질로 형성되는 기판 지지 장치.