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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0016375 (2016-02-12) | |
공개번호 | 10-2017-0094978 (2017-08-22) | |
등록번호 | 10-1829227-0000 (2018-02-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160016375 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-02-12) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판 형태의 피흡착물을 정전기력을 이용하여 흡착하기 위한 정전척에 있어서, 금속 지지대; 상기 금속 지지대에 접합된 다층 구조의 멀티 유전층; 및 상기 멀티 유전층 내에 형성된 정전 흡착용 전극;을 포함하고, 상기 멀티 유전층은, 상기 금속 지지대 위에 형성되어 상기 정전 흡착용 전극을 지지하는 제1 절연층과, 상기 제1 절연층 위에 형성되어 상기 정전 흡착용 전극을 덮는 제2 절연층과, 상기 제2 절연층 위에 졸겔 방식으로 형성되고 티타늄 (Ti) 또는 니오븀(Nb) 성분을 함유한 정전 흡착용 유전층을 구비한 것을 특징
기판 형태의 피흡착물을 정전기력을 이용하여 흡착하기 위한 정전척에 있어서,금속 지지대;상기 금속 지지대에 접합된 다층 구조의 멀티 유전층; 및상기 멀티 유전층 내에 형성된 정전 흡착용 전극;을 포함하고,상기 멀티 유전층은,상기 금속 지지대 위에 형성되어 상기 정전 흡착용 전극을 지지하는 제1 절연층과,상기 제1 절연층 위에 형성되어 상기 정전 흡착용 전극을 덮는 제2 절연층과,상기 제2 절연층 위에 졸겔 방식으로 형성되고 티타늄 (Ti) 또는 니오븀(Nb) 성분을 함유한 정전 흡착용 유전층을 구비하고,상기 제1 절연층은 산화물 또는
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