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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0033169 (2016-03-21) | |
공개번호 | 10-2017-0069891 (2017-06-21) | |
등록번호 | 10-2487249-0000 (2023-01-06) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020150177420 (2015-12-11) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160033169 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-09-28) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 N-메틸 모르폴린 N-옥사이드(N-methyl morpholine N-oxide) 및 물을 포함하는 텅스텐막 식각액 조성물에 관한 것으로, 질화 티탄계 금속 또는 탄화알루미늄티타늄막을 식각하지 않고, 텅스텐계 금속만을 선택하여 식각하는 효과를 지니고 있다.
N-메틸 모르폴린 N-옥사이드 및 물을 포함하는 텅스텐막 식각액 조성물로, 상기 텅스텐막 식각액 조성물 총 중량에 대하여, 상기 N-메틸 모르폴린 N-옥사이드 25 내지 50 중량% 및 잔량의 물을 포함하며,상기 텅스텐막 식각액 조성물은 질화티타늄막 및 탄화알루미늄티타늄막은 식각하지 않으면서 텅스텐막을 선택적으로 식각하는 것을 특징으로 하는 텅스텐막 식각액 조성물.
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