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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0070207 (2016-06-07) | |
공개번호 | 10-2016-0145494 (2016-12-20) | |
등록번호 | 10-2167667-0000 (2020-10-13) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2015-117442 (2015-06-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160070207 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-02-12) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 합성 석영 유리 블록을 준비하는 공정과,상기 합성 석영 유리 블록의 임의의 면과 그에 대향하는 면의 2면에 대해, 복굴절률을 측정하는 파장에 있어서의 투과율이 99.0%/㎜ 이상인 액체를 도포하는 공정과,한쪽의 도포면으로부터 입사하고, 다른 쪽의 도포면으로부터 출사하는 광에 의해 합성 석영 유리 블록의 복굴절률 분포를 측정하는 공정과,얻어진 복굴절률 분포에 기초하여, 합성 석영 유리 블록의 불량 선별을 행하는 공정을 포함하는 합성 석영 유리 기판의 제조 방법을 제공한다.본 발명에 따르면, 엑시머 레이저용, 특히 ArF 엑
합성 석영 유리 블록을 준비하는 공정과,상기 합성 석영 유리 블록의 임의의 면과 그에 대향하는 면이며, 면의 조도(Sa)가 1㎜ 이하인 2면에 대해, 복굴절률을 측정하는 파장에 있어서의 투과율이 99.0%/㎜ 이상인 액체를 도포하는 공정과,한쪽의 도포면으로부터 입사하고, 다른 쪽의 도포면으로부터 출사하는 광에 의해 합성 석영 유리 블록의 복굴절률 분포를 측정하는 공정과,얻어진 복굴절률 분포에 기초하여, 합성 석영 유리 블록의 불량 선별을 행하는 공정을 포함하는 합성 석영 유리 기판의 제조 방법.
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