초록

원자층 증착 장비 가스 모듈이 제공된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 원자층 증착 장비 가스 모듈은 기판을 향하여 원자층 증착 모드에 따라 복수의 가스를 순차적으로 제공하거나 단일의 가스를 제공하는 제1 타입 가스공급부 및 상기 제1 타입 가스공급부에 대하여 상기 기판 방향으로 양 단에 배치되며, 단일의 가스를 제공하는 복수의 제2 타입 가스공급부를 포함하여 이루어질 수 있다.

대표청구항 ▼

기판을 향하여, 원자층 증착 모드에 따라 소스 가스, 퍼지 가스, 반응 가스를 포함하는 복수의 가스를 순차적으로 제공하거나 단일의 가스를 제공하는 제1 타입 가스공급부; 및상기 제1 타입 가스공급부에 대하여 상기 기판 방향으로 양 단에 배치되며, 상기 복수의 가스 중 어느 하나의 가스를 제공하는 제2 타입 가스공급부를 복수 개 포함하고,상기 제2 타입 가스공급부는, 가스 공급구 및 상기 가스 공급구의 양 측에 마련되어 가스의 믹싱을 방지하는 배기구를 포함하며,상기 제1 타입 가스공급부의 폭이 상기 가스 공급구의 폭보다 더 넓게 형성

기판을 향하여, 원자층 증착 모드에 따라 소스 가스, 퍼지 가스, 반응 가스를 포함하는 복수의 가스를 순차적으로 제공하거나 단일의 가스를 제공하는 제1 타입 가스공급부; 및상기 제1 타입 가스공급부에 대하여 상기 기판 방향으로 양 단에 배치되며, 상기 복수의 가스 중 어느 하나의 가스를 제공하는 제2 타입 가스공급부를 복수 개 포함하고,상기 제2 타입 가스공급부는, 가스 공급구 및 상기 가스 공급구의 양 측에 마련되어 가스의 믹싱을 방지하는 배기구를 포함하며,상기 제1 타입 가스공급부의 폭이 상기 가스 공급구의 폭보다 더 넓게 형성되고,상기 원자층 증착 모드가 시분할 원자층 증착 모드로 동작하여, 상기 제1 타입 가스공급부가 상기 복수의 가스를 순차적으로 상기 기판을 향하여 제공하여 시드 원자층을 형성하고,상기 원자층 증착 모드가 공간 분할 원자층 증착 모드로 동작하여, 상기 제1 타입 가스공급부가 상기 퍼지 가스를 제공하며, 상기 복수의 제2 타입 가스공급부 각각은 상기 소스 가스 및 상기 반응 가스 중 하나의 가스를 제공하여, 상기 시드 원자층 위에 후속 원자층을 형성하는 원자층 증착 장비 가스 모듈.