초록 ▼

1. 연차목표
□ 1차년도 개발목표
- 시/공간 분할 동시 구현 하이브리드 원자층 박막 증착 제어 기술 개발
- 시/공간 분할 가스 인젝터 개발
- 시/공간 분할 원자층 박막 증착 기술을 이용한 Al₂O₃ 박막 증착 조건 확립

2. 개발내용 및 결과
□ 시분할 원자층 증착 장비의 단점이었던 낮은 생산성 문제와, 공간 분할 원자층 증착 장비의 단점이었던 박막 품질 저하를 해결하기 위하여, 초기 Seed Layer 증착 (수nm)을 시분할로 증착한 이후, 공

1. 연차목표
□ 1차년도 개발목표
- 시/공간 분할 동시 구현 하이브리드 원자층 박막 증착 제어 기술 개발
- 시/공간 분할 가스 인젝터 개발
- 시/공간 분할 원자층 박막 증착 기술을 이용한 Al₂O₃ 박막 증착 조건 확립

2. 개발내용 및 결과
□ 시분할 원자층 증착 장비의 단점이었던 낮은 생산성 문제와, 공간 분할 원자층 증착 장비의 단점이었던 박막 품질 저하를 해결하기 위하여, 초기 Seed Layer 증착 (수nm)을 시분할로 증착한 이후, 공간 분할 방식을 통하여 생산성 및 품질 저하를 해결하기 위한 시/공간 분할 동시 구현 하이브리드 원자층 박막 증착 제어 기술 개발완료
□ 고생산성 공간 분할 방식 원자층 증착 기술의 핵심인 가스 인젝터와 기판 간극간 최적화를 위하여 간격별 유체 흐름 확인하였으며, 이를 기반으로 시/공간 분할 하이브리드 가스 인젝터 최적화를 위한 가스 인젝터 개발 및 최적화 기술 개발완료.
□ 고생산성 마듈 Type 가스 인젝터 형상 및 축소 배치에 따른 유체 흐름 해석을 기반으로 향후 가스 인젝터 형상 최적화 및 생산성 향상 기반 기술 개발완료.
□ Al₂O₃ 원자층 증착법 공정 연구진행완료.
- 자기 제한적 반응이 일어나는 온도 구간 확립 후 SE/TEM을 이용한 박막 균일성 평가.
- AES/XPS를 이용한 박막의 깊이 방향으로의 원소 분포 및 정량 조성비 평가.
- 박막의 누설전류밀도 및 캐패시턴스 등 전기적 특성 평가.

3. 기대효과(기술적 및 경제적 효과)
□ 기술적 성과
- 기존 시분할 원자층 진공 증착 장비는 낮은 생산성이 단점이었으나, 본 과제를 통하여 개발된 반도체용 고생산성 원자층 진공 증착 가스 인젝터 핵심 마듈과 공정을 성공적으로 개발함으로써 이를 극복함.

□ 경제적 효과
- 본 과제를 통하여 플렉서블 디스플레이, 반도체 업계에서 이슈가 되고 있는 원자층 진공 증착 장비의 장비 제조 기술 및 공정 기술을 확보함으로 이를 바탕으로 개별 마듈 판매 및 추가 연구 개발로 매출 확대 기반을 구축함.

4. 적용분야
□ 대상기술인 공간분할 방식을 이용한 원자층 증착 방법은, 그 방법에 의해 제조되는 반도체,디스플레이 등의 증착효율을 높임으로 생산성을 향상하고자 하는 목적을 가지고 있음. 반도체, 디스플레이 제조 공정에서 박막을 증착하는 기술을 원자층 증착법을 이용하여 사용하게 된다면, 원자층 수준의 레이어를 쌓아갈 수 있어 반도체 업계에서는 고유전체 층, 금속 및 금속 게이트 전극을 성장시킬 수 있으며, 디스플레이 분야에도 점점 얇은 박막을 요구하는 차세대 제품에 부응할 수 있는 매력을 가지고 있어 마이크로 전자 공학 및 나노기술에 매우 적합하다고 할 수 있음.

( 출처: 연차보고서 초록 3p )

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제출문 ... 2
• 연차보고서 초록 ... 3
• Ⅰ. 당해년도 추진 현황 ... 7
• Ⅱ. 과제 수행결과(1차년도) ... 9
• 제1장 기술개발 결과의 유형 및 무형 성과 전체를 기재 ... 9
• 제2장 각 기관/ 기업별 추진 현황 ... 19
• 제3장 시장 현황 및 사업화 추진 성과 ... 31
• Ⅲ. 결론 및 차년도 계획 ... 38
• Ⅳ. 사업비 사용현황 ... 39
• Ⅴ. 유형적 발생품(연구시설, 연구장비 등) 구입 및 관리 현황 ... 41
• Ⅵ. 기업 재무건전성 현황 ... 42
• 끝페이지 ... 42