최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2016-0079172 (2016-06-24) | |
공개번호 | 10-2018-0000904 (2018-01-04) | |
등록번호 | 10-1849388-0000 (2018-04-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160079172 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2016-06-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
원자층 증착 장비 가스 모듈이 제공된다. 본 발명의 일 실시 예에 따른 원자층 증착 장비 가스 모듈은 기판을 향하여 원자층 증착 모드에 따라 복수의 가스를 순차적으로 제공하거나 단일의 가스를 제공하는 제1 타입 가스공급부 및 상기 제1 타입 가스공급부에 대하여 상기 기판 방향으로 양 단에 배치되며, 단일의 가스를 제공하는 복수의 제2 타입 가스공급부를 포함하여 이루어질 수 있다.
기판을 향하여, 원자층 증착 모드에 따라 소스 가스, 퍼지 가스, 반응 가스를 포함하는 복수의 가스를 순차적으로 제공하거나 단일의 가스를 제공하는 제1 타입 가스공급부; 및상기 제1 타입 가스공급부에 대하여 상기 기판 방향으로 양 단에 배치되며, 상기 복수의 가스 중 어느 하나의 가스를 제공하는 제2 타입 가스공급부를 복수 개 포함하고,상기 제2 타입 가스공급부는, 가스 공급구 및 상기 가스 공급구의 양 측에 마련되어 가스의 믹싱을 방지하는 배기구를 포함하며,상기 제1 타입 가스공급부의 폭이 상기 가스 공급구의 폭보다 더 넓게 형성
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.