초록 ▼

본 발명은 전주도금법을 이용한 미세 금속 마스크 제조방법에 관한 것으로, (a) 캐리어 글라스를 준비하고 상기 캐리어 글라스 상에 희생층을 증착하는 단계와, (b) 전주 도금을 위한 전극 금속(Electrode Metal)을 증착하여 전극층을 형성하는 단계와, (c) 상기 전극층 상에 감광막(Photoresist)을 도포하는 단계와, (d) 광 리소그라피를 사용하여 상기 감광막을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계와, (e) 상기 패터닝된 감광막에 전주도금(Electroplating)하여 전주도금층을 형성하는 단계와, (f) 상기 감

본 발명은 전주도금법을 이용한 미세 금속 마스크 제조방법에 관한 것으로, (a) 캐리어 글라스를 준비하고 상기 캐리어 글라스 상에 희생층을 증착하는 단계와, (b) 전주 도금을 위한 전극 금속(Electrode Metal)을 증착하여 전극층을 형성하는 단계와, (c) 상기 전극층 상에 감광막(Photoresist)을 도포하는 단계와, (d) 광 리소그라피를 사용하여 상기 감광막을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계와, (e) 상기 패터닝된 감광막에 전주도금(Electroplating)하여 전주도금층을 형성하는 단계와, (f) 상기 감광막을 제거하여 금속 패턴을 형성하는 단계와, (g) 상기 전극층에 상기 금속 패턴과 대응되는 패턴을 형성하여 마스크 패턴을 형성하는 단계와, (h) 패터닝된 상기 전주도금층과 전극층의 강성을 높이기 위해 열처리하는 단계와, (i) 상기 전주도금층과 전극층에 형성된 마스크 패턴을 검사하는 단계와, (j) 상기 전주도금층과 전극층을 상기 캐리어 글라스로부터 분리하는 단계를 포함하여, 대면적 적용 시 문제가 되는 처짐 현상 및 뒤틀림을 획기적으로 개선하고, 기존의 방식으로는 구현하기 어려운 40㎛ 피치 이하의 높은 정밀도를 가지는 미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)의 제조가 가능하다.

대표청구항 ▼

미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)를 제조하는 방법에 있어서, (a) 캐리어 글라스를 준비하고 상기 캐리어 글라스 상에서 캐리어 글라스를 덮는 희생층을 증착하는 단계; (b) 전주 도금을 위한 전극 금속(Electrode Metal)을 증착하여 전극층을 형성하는 단계;(c) 상기 전극층 상에 감광막(Photoresist)을 도포하는 단계; (d) 광 리소그라피를 사용하여 상기 감광막을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계;(e) 상기 패터닝된 감광막에 전주도금(Electroplating)하여 인바(invar; Ni-Fe 합

미세 금속 마스크(Fine Metal Mask)를 제조하는 방법에 있어서, (a) 캐리어 글라스를 준비하고 상기 캐리어 글라스 상에서 캐리어 글라스를 덮는 희생층을 증착하는 단계; (b) 전주 도금을 위한 전극 금속(Electrode Metal)을 증착하여 전극층을 형성하는 단계;(c) 상기 전극층 상에 감광막(Photoresist)을 도포하는 단계; (d) 광 리소그라피를 사용하여 상기 감광막을 노광 및 현상하여 패터닝하는 단계;(e) 상기 패터닝된 감광막에 전주도금(Electroplating)하여 인바(invar; Ni-Fe 합금)를 포함하는 전주도금층을 형성하는 단계; (f) 상기 감광막을 제거하여 금속 패턴을 형성하는 단계;(g) 상기 전극층에 상기 금속 패턴과 대응되는 패턴을 형성하여 마스크 패턴을 형성하는 단계;(h) 패터닝된 상기 전주도금층과 전극층의 강성을 높이기 위해 열처리하는 단계;(i) 상기 전주도금층과 전극층에 형성된 마스크 패턴을 검사하는 단계; 및(j) 상기 마스크 패턴 주변과 상기 마스크 패턴 아래로부터 상기 희생층을 제거하여 상기 전주도금층과 전극층을 상기 캐리어 글라스로부터 분리하는 단계;를 포함하고,상기 (g)단계에서 상기 전극층에 상기 금속 패턴과 대응되는 패턴을 형성하여 마스크 패턴을 형성하는 방법은, 레이저를 이용하여 상기 마스크 패턴이 상기 금속 패턴으로부터 상기 전극층의 상기 패턴을 향해 점진적으로 벌어진 양 측벽을 갖는 테이퍼 형상을 지니도록 트리밍하는 단계를 포함하되,상기 (g)단계에서 레이저를 이용하여 상기 마스크 패턴이 테이퍼 형상을 지니도록 트리밍하는 단계는, (k) 상기 전주도금층과 전극층 상에 단위 가공영역을 설정하는 단계;(l) 레이저가 상기 단위 가공영역 내에 1번째 스캔경로(scan path)를 따라 이동하며 가공이 이루어지는 단계;(m) 상기 레이저를 다음 스텝(step)으로 방향을 전환하고, 스텝피치(step pitch)만큼 이동시켜 2번째 스캔경로를 따라 이동하며 가공이 이루어지는 단계; 및(n) 상기 (l)단계 및 (m)단계를 반복수행하여 n번째 스캔경로를 따라 레이저의 이동이 완료되면 단위 가공영역 전체에 대한 가공이 이루어지는 단계; 를 포함하고,상기 레이저는 각 스캔경로에 대응하여 가공깊이를 설정하여 상기 마스크 패턴이 상기 테이퍼 형상을 지니도록 트리밍하는 것이 가능하고,상기 (h)단계에서,패터닝된 상기 전주도금층과 전극층의 강성을 높이기 위하여, 레이저 라인 빔을 사용함으로써 상기 전주도금층의 상면과 트리밍을 한 상기 마스크 패턴의 가공면까지 동시에 열처리가 이루어질 수 있으되, 특정 영역을 선택하여 부분별로 내부 응력 제거가 가능한 것이고,상기 (h)단계에서는 금속의 경도를 증가시키기 위한 담금질 공정이 더 포함되며,상기 (j)단계에서 상기 전주도금층과 전극층을 상기 캐리어 글라스로부터 분리하는 방법은, 레이저를 이용하여 상기 캐리어 글라스 위에 형성한 상기 희생층을 레이저 리프트 오프(Laser Lift Off)하는 것을 특징으로 하는, 전주도금법을 이용한 미세 금속 마스크 제조방법.