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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0030120 (2019-03-15) | |
공개번호 | 10-2020-0110053 (2020-09-23) | |
등록번호 | 10-2390023-0000 (2022-04-20) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190030120 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-11-26) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 멀티 빔 가공방법 및 멀티 빔 가공장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 멀티 빔 가공의 균질도를 향상시키는 멀티 빔 가공방법 및 멀티 빔 가공장치에 관한 것이다.본 발명의 일실시예에 따른 멀티 빔 가공방법은 가공 대상물에 복수의 가공 지점을 설정하는 과정; 상기 가공 대상물을 가공하기 위한 레이저 빔을 발생시켜 출력하는 과정; 상기 레이저 빔을 상기 복수의 가공 지점의 개수보다 적은 복수의 단위 빔으로 분할하여 멀티 빔을 형성하는 과정; 상기 멀티 빔을 상기 복수의 가공 지점 중 일부 가공 지점에 대응되는 제1 조사위치
가공 대상물에 제1 방향을 따라 제1 거리의 동일 간격으로 배열되는 복수의 가공 지점을 설정하는 과정;상기 가공 대상물을 가공하기 위한 레이저 빔을 발생시켜 출력하는 과정;상기 레이저 빔을 상기 복수의 가공 지점의 개수보다 적은 복수의 단위 빔으로 분할하여, 상기 복수의 단위 빔이 상기 제1 방향을 따라 상기 제1 거리와 비례하는 제2 거리의 동일 간격으로 배열된 멀티 빔을 형성하는 과정;상기 멀티 빔을 상기 복수의 가공 지점 중 일부 가공 지점에 대응되는 제1 조사위치에 조사하는 과정;상기 멀티 빔의 조사 위치를 이동시키는 과정;
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