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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0097788 (2016-08-01) | |
공개번호 | 10-2018-0014482 (2018-02-09) | |
등록번호 | 10-1870701-0000 (2018-06-19) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160097788 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-08-01) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 실시예들은 스캔된 웨이퍼 형상의 두께를 연산하여 프로파일을 결정하고, 프로파일별 연산된 PV 값과 설정된 예측 PV 값을 이용하여 델타 보정값과 연마 종점 시간을 연산하여 연마 중인 각 웨이퍼의 연마 시간에 반영하는 메카니즘을 제공한다.이에, 본 실시예들은 웨이퍼 표면의 우수한 평탄화를 이루고, 복수의 제어기를 동시에 제어하여 설비 비용을 줄인다.
각 웨이퍼의 연마 시간을 제어하는 적어도 하나의 제어기로부터 제공된 웨이퍼 형상을 스캔하는 형상 스캔부;상기 스캔된 웨이퍼 형상의 두께를 연산하여 상기 연산된 웨이퍼 형상의 두께에 기초하여 구별된 Convex 형, W자 형, M자 형 및 Concave 형을 포함하는 적어도 하나의 프로파일을 결정하는 프로파일 결정부;상기 결정된 프로파일별 PV(Peak-to Valley) 값을 연산하고, 상기 연산된 PV 값과 설정된 예측 PV 값을 이용하여 델타 보정값을 연산하고, 이미 획득된 델타 보정값과 각 PV 값에 따라 연산된 제어시간을 이
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