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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-0151759 (2016-11-15) | |
공개번호 | 10-2018-0054161 (2018-05-24) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160151759 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
실시 예의 웨이퍼의 결함 검사 장치는, 검사 대상이 되는 웨이퍼가 파지 또는 안치되며, 직선 또는 회전 운동에 의해 웨이퍼를 이동시켜 웨이퍼의 검사될 부분이 검사자를 향하도록 하는 검사부 및 웨이퍼를 영상으로 표시하고, 표시된 웨이퍼 영상에서 터치 주체물에 의해 터치된 부분을 마킹하는 터치 스크린을 포함한다.
검사 대상이 되는 웨이퍼가 파지 또는 안치되며, 직선 또는 회전 운동에 의해 상기 웨이퍼를 이동시켜 상기 웨이퍼의 검사될 부분이 검사자를 향하도록 하는 검사부; 및상기 웨이퍼를 영상으로 표시하고, 상기 표시된 웨이퍼 영상에서 터치 주체물에 의해 터치된 부분을 마킹하는 터치 스크린을 포함하는 웨이퍼의 결함 검사 장치.
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