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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0054782 (2018-05-14) | |
공개번호 | 10-2019-0130304 (2019-11-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180054782 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-05-14) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 로봇암과 결합되는 제1 블레이드; 상기 제1 블레이드에서 각각 연장되는 제2 및 제3 블레이드; 상기 제1 블레이드에 구비되며, 웨이퍼의 일측을 지지하는 내측 안착부; 및 상기 제2 및 제3 블레이드의 외측에 각각 구비되어 상기 웨이퍼의 타측을 지지하는 외측 안착부를 포함하며, 상기 외측 안착부는, 상기 웨이퍼의 타측 가장자리 내측 영역을 지지하는 지지블럭; 상기 웨이퍼의 가장자리를 감싸도록 이격 배치되는 에지블럭; 및 상기 웨이퍼의 가장자리 아래에 위치하며, 상기 지지블럭과 상기 에지블럭 사이에 형성된 함몰홈을 포함하는
로봇암과 결합되는 제1 블레이드;상기 제1 블레이드에서 각각 연장되는 제2 및 제3 블레이드;상기 제1 블레이드에 구비되며, 웨이퍼의 일측을 지지하는 내측 안착부; 및상기 제2 및 제3 블레이드의 외측에 각각 구비되어 상기 웨이퍼의 타측을 지지하는 외측 안착부를 포함하며,상기 외측 안착부는,상기 웨이퍼의 타측 가장자리 내측 영역을 지지하는 지지블럭;상기 웨이퍼의 가장자리를 감싸도록 이격 배치되는 에지블럭; 및상기 웨이퍼의 가장자리 아래에 위치하며, 상기 지지블럭과 상기 에지블럭 사이에 형성된 함몰홈을 포함하는, 웨이퍼 이송 기구.
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