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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2016-0100552 (2016-08-08) | |
| 공개번호 | 10-2018-0016786 (2018-02-20) | |
| 등록번호 | 10-1842964-0000 (2018-03-22) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020160100552 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2016-08-08) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
텅스텐 카바이드 나노플레이크(nanoflake)를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법은, 수소 플라즈마가 인가되는 화학기상증착 공정을 이용하여, 나노결정다이아몬드 박막 상에 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 제조하는 단계; 및 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크의 표면으로부터 산화물층 또는 그래핀층을 제거함으로써 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크의 수소 발생 반응에 대한 활성을 증가시키는 단계를 포함한다. 텅스텐 카바이드 형성 후 사이클릭 세정(cyclic cleaning)을 통하여 텅스텐 카바이드 표면의 산화물층 및/또는 그래핀층을
수소 플라즈마가 인가되는 화학기상증착 공정을 이용하여, 나노결정다이아몬드 박막 상에 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 제조하는 단계; 및 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크의 수소 발생 반응에 대한 활성을 증가시키도록 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 세정 용액에 담지하여 소정의 전압을 인가함으로써 상기 텅스텐 카바이드 나노플레이크의 표면으로부터 산화물층 또는 그래핀층을 제거하는 단계를 포함하는, 텅스텐 카바이드 나노플레이크를 이용한 수소 생산용 전극의 제조 방법.
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