초록 ▼

본 발명의 목적은 플라즈마에 의해 발생되는 활성종, 즉 활성산소종 및 활성 질소종의 발생 효율을 높이고 휴대성, 전기적 안전성, 열적 안전성 등을 모두 구비한 플라즈마 소스를 제공하고자 하는 것이다.상기 목적에 따라 본 발명은 방전관 안에 선형으로 된 두 전극을 서로 틈을 두고 나란히 배열한 다음, 방전관 양단에 절연체 마개를 설치하며, 상기 전극은 각각 절연체로 감싸지거나 절연체 튜브에 넣어지도록 구성한 DBD 플라즈마 소스를 제공한다. 상기에서 전극을 감싸는 절연체 튜브는 석영일 수 있고, 방전관도 석영관으로 구성하는 것이 바람

본 발명의 목적은 플라즈마에 의해 발생되는 활성종, 즉 활성산소종 및 활성 질소종의 발생 효율을 높이고 휴대성, 전기적 안전성, 열적 안전성 등을 모두 구비한 플라즈마 소스를 제공하고자 하는 것이다.상기 목적에 따라 본 발명은 방전관 안에 선형으로 된 두 전극을 서로 틈을 두고 나란히 배열한 다음, 방전관 양단에 절연체 마개를 설치하며, 상기 전극은 각각 절연체로 감싸지거나 절연체 튜브에 넣어지도록 구성한 DBD 플라즈마 소스를 제공한다. 상기에서 전극을 감싸는 절연체 튜브는 석영일 수 있고, 방전관도 석영관으로 구성하는 것이 바람직하며, 절연체 마개의 고정은 실리콘을 이용하여 실링을 겸하게 할 수 있다. 이러한 플라즈마 소스는 필요에 따라 마개 부분에 튜브를 꽂거나 버블러를 연결하여 원하는 챔버나 수조에 튜브나 버블러를 접속시켜 활성종을 공급할 수 있으며, 경우에 따라서는 살균 소독을 하여야 하는 각종 물품에 튜브를 연결시킬 수 있다. 또한, 방전관 외부에 보조전극을 추가하여 더욱 풍부한 플라즈마 방전과 활성종을 생성하였다.

대표청구항 ▼

유전체로 된 방전관;상기 방전관 안에 배치되는 선형의 제1 전극 및 제2 전극; 상기 방전관 양단부를 각각 밀폐하는 마개; 및방전관의 외부에 설치된 보조 전극을 포함하고,상기 제1 전극과 제2 전극은 유전체로 감싸 서로 나란히 배치되고 각각 전원의 단자에 접속되며, 방전관 안에 방전 가스가 공급되어 방전관 안에서 플라즈마를 방전하여 활성종들을 생성하되,상기 보조 전극은 제1 전극 또는 제2 전극 중 어느 하나와 전원의 같은 단자에 접속되어, 플라즈마 방전이 방전관 내부와 외부 모두에서 일어나게 하며, 방전관 외부에서의 플라즈마 방전

유전체로 된 방전관;상기 방전관 안에 배치되는 선형의 제1 전극 및 제2 전극; 상기 방전관 양단부를 각각 밀폐하는 마개; 및방전관의 외부에 설치된 보조 전극을 포함하고,상기 제1 전극과 제2 전극은 유전체로 감싸 서로 나란히 배치되고 각각 전원의 단자에 접속되며, 방전관 안에 방전 가스가 공급되어 방전관 안에서 플라즈마를 방전하여 활성종들을 생성하되,상기 보조 전극은 제1 전극 또는 제2 전극 중 어느 하나와 전원의 같은 단자에 접속되어, 플라즈마 방전이 방전관 내부와 외부 모두에서 일어나게 하며, 방전관 외부에서의 플라즈마 방전은 선형의 제1 전극 및 제2 전극과 상기 보조 전극이 서로 교차하는 지점에서 일어나는 것을 특징으로 하는 활성종 발생장치.