최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2016-0134873 (2016-10-18) | |
공개번호 | 10-2018-0042574 (2018-04-26) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160134873 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 세정대상물을 이산화탄소를 이용한 건식 세정방식으로 1차 세정한 후 습식 세정방식으로 2차 세정함으로써 세정약액의 사용을 최소화하고, 미세 패턴이 형성된 세정 대상물을 효율적으로 세정할 수 있는 세정시스템을 제공하고자 함에 그 목적이 있다. 이를 구현하기 위한 본 발명의 건식과 습식 복합 세정장치는, 세정대상물 상에 고체입자를 포함하는 스노우 상태의 이산화탄소를 분사하여 세정하는 CO2 세정부를 포함하는 건식 세정부; 상기 건식 세정부에서 세정이 이루어진 세정대상물을 세정액에 침지시켜 세정하는 습식 세정부를 포함한다.
세정대상물 상에 고체입자를 포함하는 스노우 상태의 이산화탄소를 분사하여 세정하는 CO2 세정부를 포함하는 건식 세정부; 상기 건식 세정부에서 세정이 이루어진 세정대상물을 세정액에 침지시켜 세정하는 습식 세정부;를 포함하는 건식과 습식 복합 세정시스템
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.