$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

산화물반도체막 및 실리콘산화막 식각 조성물 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C09K-013/08
  • C09K-013/06
  • H01L-021/02
  • H01L-027/32
출원번호 10-2016-0144691 (2016-11-01)
공개번호 10-2018-0047880 (2018-05-10)
등록번호 10-2242933-0000 (2021-04-15)
DOI http://doi.org/10.8080/1020160144691
발명자 / 주소
  • 강교원 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로**번길 **
  • 김동현 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로**번길 **
  • 박현우 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로**번길 **
  • 김학수 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로**번길 **
  • 오정재 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로**번길 **
  • 이명호 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로**번길 **
출원인 / 주소
  • 주식회사 이엔에프테크놀로지 / 경기도 용인시 기흥구 탑실로**번길 ** (공세동)
대리인 / 주소
  • 김애라
심사청구여부 있음 (2020-10-27)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 산화물 반도체막 및 실리콘 산화막 식각 조성물에 관한 것으로서, 산화물 반도체막과 실리콘 산화막을 동시에 식각함에 있어서 포토레지스트와 산화물반도체막 계면의 식각 바이어스(bias)를 최소화함으로써, 식각 프로파일을 향상시킬 수 있다.

대표청구항 ▼

불화암모늄, 반도체막 식각조절제, 바이어스 조절제 및 물을 포함하며, 상기 바이어스 조절제가 에테르계 화합물, 알코올계 화합물, 아민계 화합물 및 음이온계 화합물로부터 선택되는 하나 이상이고,상기 식각조절제가 무기산 또는 무기산염이며,상기 에테르계 화합물이 탄소수 2 내지 30의 직쇄, 측쇄 또는 고리형으로 1개 이상의 산소원자를 포함하는 것으로부터 선택되는 하나 이상이고,상기 알코올계 화합물이 탄소수 2 내지 30의 직쇄, 측쇄 또는 고리형으로 2개 이상의 히드록시기를 포함하는 것으로부터 선택되는 하나 이상이고,상기 아민계 화합물

발명자의 다른 특허 :

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로