초록 ▼

본 발명은 OLED에서 사용되는 유기 화합물을 기판에 증착시키는데 사용되는 OLED 증착용 히터에서 소스가 누출되는 것을 방지하기 위한 OLED 증착용 히터의 소스 누출 방지 구조에 관한 것으로서, 원통 형상의 케이스(11)와; 증착 소스가 담겨지고 상부가 개방되며 케이스(11)의 내부에 배치되는 크루시블(30)과; 크루시블(30)의 상부측을 감싸는 형태로 설치되는 히터 조립체(20)와; 히터 조립체(20)를 지지하는 원통 형상의 내부 리플렉터(12)와; 케이스(11)의 내측에 설치되는 원통 형상의 외부 리플렉터(14)와; 크루시블

본 발명은 OLED에서 사용되는 유기 화합물을 기판에 증착시키는데 사용되는 OLED 증착용 히터에서 소스가 누출되는 것을 방지하기 위한 OLED 증착용 히터의 소스 누출 방지 구조에 관한 것으로서, 원통 형상의 케이스(11)와; 증착 소스가 담겨지고 상부가 개방되며 케이스(11)의 내부에 배치되는 크루시블(30)과; 크루시블(30)의 상부측을 감싸는 형태로 설치되는 히터 조립체(20)와; 히터 조립체(20)를 지지하는 원통 형상의 내부 리플렉터(12)와; 케이스(11)의 내측에 설치되는 원통 형상의 외부 리플렉터(14)와; 크루시블(30)의 하단으로부터 일정 정도 이격되게 배치된 베이스 플랜지(16)의 상측에 부착된 하나 이상의 바닥 리플렉터(15)와; 복수 개의 지지대(17')를 이용하여 상기 베이스 플랜지(16)를 지지하는 메인 플랜지(17)와; 히터 조립체(20)로 전기를 공급하도록 메인 플랜지(17)에 설치되는 히터 연결봉(18)과; 케이스(11) 내부의 과열 방지를 위하여 메인 플랜지(17)에 설치되는 열전대(19)와; 크루시블(30)에서 발생한 증착 소스의 증기가 베이스 플랜지(16) 하부의 히터 연결봉(18) 및 열전대(19)로 흘러내리지 않도록 상단부 내측에 상기 크루시블(30)이 끼움 결합되고 하단부는 상기 내부 리플렉터(12)의 내부에 끼움 결합되는 소스 누설 방지구(40);를 포함하는 것을 특징으로 한다.

대표청구항 ▼

원통 형상의 케이스(11)와; 증착 소스가 담겨지고 상부가 개방되며 상기 케이스(11)의 내부에 배치되는 크루시블(30)과; 증착물질을 가열하여 증발시킬 수 있도록 상기 크루시블(30)의 상부측을 감싸는 형태로 설치되는 히터 조립체(20)와; 상기 크루시블(30)의 외측에 설치되어 상기 히터 조립체(20)를 지지하는 원통 형상의 내부 리플렉터(12)와; 상기 케이스(11)의 내측에 설치되는 원통 형상의 외부 리플렉터(14)와; 상기 크루시블(30)의 하단으로부터 일정 정도 이격되게 배치되어 상기 리플렉터들을 지지하는 베이스 플랜지(

원통 형상의 케이스(11)와; 증착 소스가 담겨지고 상부가 개방되며 상기 케이스(11)의 내부에 배치되는 크루시블(30)과; 증착물질을 가열하여 증발시킬 수 있도록 상기 크루시블(30)의 상부측을 감싸는 형태로 설치되는 히터 조립체(20)와; 상기 크루시블(30)의 외측에 설치되어 상기 히터 조립체(20)를 지지하는 원통 형상의 내부 리플렉터(12)와; 상기 케이스(11)의 내측에 설치되는 원통 형상의 외부 리플렉터(14)와; 상기 크루시블(30)의 하단으로부터 일정 정도 이격되게 배치되어 상기 리플렉터들을 지지하는 베이스 플랜지(16)의 상측에 부착된 하나 이상의 바닥 리플렉터(15)와; 상기 케이스(11)로부터 일정 정도 이격된 위치에 배치되며 복수 개의 지지대(17')를 이용하여 상기 베이스 플랜지(16)를 지지하는 메인 플랜지(17)와; 상기 히터 조립체(20)로 전기를 공급하도록 상기 메인 플랜지(17)에 설치되는 히터 연결봉(18)과; 상기 케이스(11) 내부의 과열 방지를 위하여 상기 메인 플랜지(17)에 설치되는 열전대(19)와; 상기 크루시블(30)에서 발생한 증착 소스의 증기가 베이스 플랜지(16) 하부의 히터 연결봉(18) 및 열전대(19)로 흘러내리지 않도록 상단부 내측에 상기 크루시블(30)이 끼움 결합되고 하단부는 상기 내부 리플렉터(12)의 내부에 끼움 결합되는 소스 누설 방지구(40);를 포함하고,상기 소스 누설 방지구(40)는 상기 크루시블(30)이 결합되는 소경부(41)와, 상기 내부 리플렉터(12)의 내측에 끼움 결합되며 상기 소경부(41)에 비해 큰 직경을 갖는 대경부(42)와, 상기 소경부(41)와 대경부(42) 사이를 차폐하는 분리판(43)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 OLED 증착용 히터의 소스 누출 방지 구조.