최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2016-0173999 (2016-12-19) | |
등록번호 | 10-1857761-0000 (2018-05-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020160173999 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2016-12-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 SiC 성장장치 및 방법에 관한 발명으로 규소, 탄소를 포함하는 원료물질이 장입되는 도가니, 상기 도가니를 가열하여 상기 규소, 탄소를 포함하는 원료물질을 SiC용액으로 용융시키기 위한 제1발열수단, 상기 도가니의 상부에 위치하며 상하로 이동되는 탄소를 포함하는 장입부재, 상기 SiC용액으로 탄소를 주입하기 위해서, 상기 장입부재를 용융시키기 위한 제2발열수단, 상기 도가니의 상부에 위치하며 상하로 이동되고, 상기 SiC용액으로 주입하는 용융종자정 어댑터에 부착되어 상기 SiC용액에 성장면이 접하는 종자정을 포함하는 것을
규소, 탄소를 포함하는 원료물질이 장입되는 도가니;상기 도가니를 가열하여 상기 규소, 탄소를 포함하는 원료물질을 SiC용액으로 용융시키기 위한 제1발열수단;상기 도가니의 상부에 위치하며 상하로 이동되는 탄소를 포함하는 장입부재; 상기 SiC용액으로 탄소를 주입하기 위해서, 상기 장입부재를 용융시키기 위한 제2발열수단; 상기 도가니의 상부에 위치하며 상하로 이동되고, 상기 SiC용액으로 주입하는 용융종자정 어댑터에 부착되어 상기 SiC용액에 성장면이 접하는 종자정을 포함하며,상기 제1발열수단은 저항식 발열체이고, 상기 제2발열수단은
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.