[특허]반도체 소자의 제조 방법, 웨이퍼 마운트 장치

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[한국특허] 반도체 소자의 제조 방법, 웨이퍼 마운트 장치
SEMICONDUCTOR-ELEMENT MANUFACTURING METHOD AND WAFER MOUNTING DEVICE 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/78 H01L-021/268 H01L-021/683 H01L-021/687
출원번호	10-2016-7009742 (2016-04-14)
공개번호	10-2016-0055265 (2016-05-17)
등록번호	10-1787926-0000 (2017-10-12)
국제출원번호	PCT/JP2013/077989 (2013-10-15)
국제공개번호	WO 2015/056303 (2015-04-23)
번역문제출일자	2016-04-14
DOI	http://doi.org/10.8080/1020167009742
발명자 / 주소	마츠무라 다미오 / 일본 도쿄도 지요다쿠 마루노우치 쵸메 반 *고 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 내
출원인 / 주소	미쓰비시덴키 가부시키가이샤 / 일본국 도쿄도 지요다쿠 마루노우치 쵸메 반 *고
대리인 / 주소	제일특허법인
심사청구여부	있음 (2016-04-14)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

외주에 중앙부보다 두꺼운 링부가 형성되고, 제 1 면과, 상기 제 1 면과 반대의 면인 제 2 면을 가진 웨이퍼의 상기 제 1 면을 흡착 스테이지에 흡착시키면서, 레이저 광으로 상기 웨이퍼로부터 상기 링부를 절단함으로써, 평탄 웨이퍼를 형성하는 커팅 공정과, 상기 평탄 웨이퍼의 상기 제 2 면을 흡착 핸드에 흡착시키면서, 상기 평탄 웨이퍼를 상기 흡착 스테이지로부터 분리하고, 상기 제 1 면을 다이싱 테이프에 부착하는 부착 공정과, 상기 다이싱 테이프에 부착된 상기 평탄 웨이퍼를 다이싱하는 다이싱 공정을 구비하는 것을 특징으로 한다

대표청구항 ▼

외주에 중앙부보다 두꺼운 링부가 형성되고, 제 1 면과, 상기 제 1 면과 반대의 면인 제 2 면을 가진 웨이퍼의 상기 제 1 면을 흡착 스테이지에 흡착시키면서, 레이저 광으로 상기 웨이퍼로부터 상기 링부를 절단함으로써, 평탄 웨이퍼를 형성하는 커팅 공정과,상기 평탄 웨이퍼의 상기 제 2 면을 흡착 핸드에 흡착시키면서, 상기 평탄 웨이퍼를 상기 흡착 스테이지로부터 분리하고, 상기 제 1 면을 다이싱 테이프에 부착하는 부착 공정과,상기 다이싱 테이프에 부착된 상기 평탄 웨이퍼를 다이싱하는 다이싱 공정을 구비하되,상기 커팅 공정에서는,

외주에 중앙부보다 두꺼운 링부가 형성되고, 제 1 면과, 상기 제 1 면과 반대의 면인 제 2 면을 가진 웨이퍼의 상기 제 1 면을 흡착 스테이지에 흡착시키면서, 레이저 광으로 상기 웨이퍼로부터 상기 링부를 절단함으로써, 평탄 웨이퍼를 형성하는 커팅 공정과,상기 평탄 웨이퍼의 상기 제 2 면을 흡착 핸드에 흡착시키면서, 상기 평탄 웨이퍼를 상기 흡착 스테이지로부터 분리하고, 상기 제 1 면을 다이싱 테이프에 부착하는 부착 공정과,상기 다이싱 테이프에 부착된 상기 평탄 웨이퍼를 다이싱하는 다이싱 공정을 구비하되,상기 커팅 공정에서는, 고무 링과 방진 커버로 상기 제 2 면의 중앙부를 덮은 후에, 상기 웨이퍼로부터 상기 링부를 절단하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자의 제조 방법.

이 특허에 인용된 특허 (5)

[일본] METHOD AND APPARATUS FOR MARKING SEMICONDUCTOR WAFER WITH LASER | NARA NORIHITO
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[일본] LASER MACHINING APPARATUS | SEKIYA KAZUMA, YOSHIKAWA TOSHIYUKI
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[일본] LASER BEAM MACHINING DEVICE | MICHAEL WILLIAM GADD
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[일본] METHOD OF MANUFACTURING SEMICONDUCTOR DEVICE | HIRUTA REIKO
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[일본] LASER BEAM MACHINING APPARATUS | YOSHII SHUNGO, NISHINO YOKO
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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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