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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2016-7035899 (2016-12-22) | |
공개번호 | 10-2017-0008298 (2017-01-23) | |
등록번호 | 10-1943725-0000 (2019-01-23) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2014-154722 (2014-07-30);일본(JP) JP-P-2015-036107 (2015-02-26) | |
국제출원번호 | PCT/JP2015/069340 (2015-07-03) | |
국제공개번호 | WO 2016/017374 (2016-02-04) | |
번역문제출일자 | 2016-12-22 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020167035899 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2016-12-22) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
타깃의 선단면에 아크 스폿을 안정적으로 유지할 수 있고, 게다가 장치의 소형화를 달성 가능한 아크 증발원을 제공한다.아크 증발원(1)은, 아크 방전에 의해 선단면(3a)으로부터 용해되어 증발되는 타깃(3)과, 타깃(3)의 측면(3b)으로부터 당해 타깃(3)의 반경 방향으로 이격된 위치에 배치된 적어도 1개의 자석(4)을 구비하고 있다.자석(4)은, 타깃(3)의 측면(3b)에 있어서 타깃(3)의 축 방향의 타깃(3)의 선단면(3a)으로부터 10㎜까지의 범위에 있어서, 이하의 조건 a) 및 b), 즉,a) 타깃(3)의 측면(3b)에 대
선단면과 그 주연에 연속되는 측면을 갖는 봉상으로 이루어져 있고, 아크 방전에 의해 상기 선단면으로부터 용해되어 증발되는 타깃과,상기 타깃의 상기 측면으로부터 당해 타깃의 반경 방향으로 이격된 위치에 배치된 적어도 1개의 자석을 구비하고 있고,상기 자석은,상기 타깃의 측면에 있어서 상기 선단면에 직교하는 상기 타깃의 축 방향의 상기 타깃의 선단면으로부터 10㎜까지의 범위에 있어서, 이하의 조건 a) 및 b), 즉,a) 상기 자석에 의해 형성되는 자장에 의한 자력선이 상기 선단면에 근접하면서 상기 타깃의 반경 방향의 외측을 향하는 방
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