초록

진공 아크(arc) 방전의 캐소드(cathode)로부터 방출된 증발물질을 적정하게 회수하는 것을 가능하게 한 아크 증발원 및 진공증착장치를 제공한다. 아크 증발원(10)은, 간극(G)을 두고 서로 대향하는 제1 및 제2 전극(14A),(14B)을 구비하고, 제1 및 제2 전극(14A),(14B) 중 적어도 어느 일측의 전극을 캐소드로 하고, 캐소드와 애노드(anode) 사이에 발생하는 진공 아크 방전에 기초하여 제1 및 제2 전극(14A),(14B) 중 타측의 전극이 캐소드로부터 방출된 증발물질을 회수 가능하게 구성되어 있다.

대표청구항 ▼

간극을 두고 서로 대향하는 제1 및 제2 전극을 구비하고,상기 제1 및 제2 전극 중 적어도 어느 일측의 전극을 캐소드로 하고, 상기 캐소드와 애노드 사이에 발생하는 진공 아크 방전에 기초하여 상기 제1 및 제2 전극 중 타측의 전극이, 상기 캐소드로부터 방출된 증발물질을 회수 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 아크 증발원.제1항의 아크 증발원을 감압 가능한 내부에 배치한 진공조와, 상기 캐소드와 상기 애노드 사이에 진공 아크 방전을 발생하게 하는 전력을 상기 캐소드 및 상기 애노드에 공급하는 전력공급수단을 구비하는 것을 특징으

간극을 두고 서로 대향하는 제1 및 제2 전극을 구비하고,상기 제1 및 제2 전극 중 적어도 어느 일측의 전극을 캐소드로 하고, 상기 캐소드와 애노드 사이에 발생하는 진공 아크 방전에 기초하여 상기 제1 및 제2 전극 중 타측의 전극이, 상기 캐소드로부터 방출된 증발물질을 회수 가능하게 구성되는 것을 특징으로 하는 아크 증발원.제1항의 아크 증발원을 감압 가능한 내부에 배치한 진공조와, 상기 캐소드와 상기 애노드 사이에 진공 아크 방전을 발생하게 하는 전력을 상기 캐소드 및 상기 애노드에 공급하는 전력공급수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공증착장치.제2항에 있어서, 상기 애노드는 상기 진공조인 것을 특징으로 하는 진공증착장치.제2항에 있어서, 상기 증발물질은 상기 캐소드의 재료로 이루어지는 드롭렛 및 이온인 것을 특징으로 하는 진공증착장치.제2항에 있어서, 상기 진공조의 내부에 배치된 워크를 구비하고,상기 제1 및 제2 전극은 봉재이며, 상기 제1 및 제2 전극은 이들의 단면 사이에 상기 간극이 놓이도록 상기 제1 및 제2 전극의 길이방향을 나란하게 하여 배치되고, 상기 워크는 상기 간극으로부터 마주볼 수 있는 위치에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공증착장치.제5항에 있어서, 상기 진공조의 내부에 배치되고 상기 증발물질을 회수하는 회수부재를 구비하고,상기 회수부재의 면이 상기 워크와 상기 간극 사이의 영역을 제외하고 상기 간극을 둘러싸도록 만곡하여 구성되는 것을 특징으로 하는 진공증착장치.제2항에 있어서, 상기 제1 전극이 상기 캐소드인 제1 사용상태와, 상기 제2 전극이 상기 캐소드인 제2 사용상태를 가지는 것을 특징으로 하는 진공증착장치.제7항에 있어서, 상기 제1 사용상태와 상기 제2 사용상태 사이의 절환을 실행하는 절환수단을 구비한 것을 특징으로 하는 진공증착장치.제8항에 있어서, 상기 전력공급수단은 직류전력원이고,상기 절환수단은 상기 직류전력원의 음극측 단자와의 접속을 상기 제1 전극과 제2 전극 사이에서 스위칭하는 스위치인 것을 특징으로 하는 진공증착장치.제8항에 있어서, 상기 전력공급수단은 교류전력원이고,상기 절환수단은 상기 교류전력원의 일측 단자와 상기 제1 전극 사이, 그리고 상기 교류전력원의 타측 단자와 제2 전극 사이에, 상기 교류전력원으로부터 공급되는 전력을 정류하는 정류소자를 가지는 것을 특징으로 하는 진공증착장치.제2항에 있어서, 상기 전력공급수단은 상기 제1 전극에 접속하는 음극측 단자 및 상기 애노드에 접속하는 양극측 단자를 가지는 제1 직류전력원과, 상기 제2 전극에 접속하는 음극측 단자 및 상기 애노드에 접속하는 양극측 단자를 가지는 제2 직류전력원을 구비한 것을 특징으로 하는 진공증착장치.