초록 ▼

타깃의 선단면에 아크 스폿을 안정적으로 유지할 수 있고, 게다가 장치의 소형화를 달성 가능한 아크 증발원을 제공한다.아크 증발원(1)은, 아크 방전에 의해 선단면(3a)으로부터 용해되어 증발되는 타깃(3)과, 타깃(3)의 측면(3b)으로부터 당해 타깃(3)의 반경 방향으로 이격된 위치에 배치된 적어도 1개의 자석(4)을 구비하고 있다.자석(4)은, 타깃(3)의 측면(3b)에 있어서 타깃(3)의 축 방향의 타깃(3)의 선단면(3a)으로부터 10㎜까지의 범위에 있어서, 이하의 조건 a) 및 b), 즉,a) 타깃(3)의 측면(3b)에 대

타깃의 선단면에 아크 스폿을 안정적으로 유지할 수 있고, 게다가 장치의 소형화를 달성 가능한 아크 증발원을 제공한다.아크 증발원(1)은, 아크 방전에 의해 선단면(3a)으로부터 용해되어 증발되는 타깃(3)과, 타깃(3)의 측면(3b)으로부터 당해 타깃(3)의 반경 방향으로 이격된 위치에 배치된 적어도 1개의 자석(4)을 구비하고 있다.자석(4)은, 타깃(3)의 측면(3b)에 있어서 타깃(3)의 축 방향의 타깃(3)의 선단면(3a)으로부터 10㎜까지의 범위에 있어서, 이하의 조건 a) 및 b), 즉,a) 타깃(3)의 측면(3b)에 대해 자장에 의한 자력선이 이루는 각도는, 45도 이하이고, 또한,b) 당해 자력선의 강도에 있어서의 타깃(3)의 축 방향의 성분은, 200G 이상이라고 하는 조건을 만족시키는 자장 MF1을 형성하도록 배치되어 있다.

대표청구항 ▼

선단면과 그 주연에 연속되는 측면을 갖는 봉상으로 이루어져 있고, 아크 방전에 의해 상기 선단면으로부터 용해되어 증발되는 타깃과,상기 타깃의 상기 측면으로부터 당해 타깃의 반경 방향으로 이격된 위치에 배치된 적어도 1개의 자석을 구비하고 있고,상기 자석은,상기 타깃의 측면에 있어서 상기 선단면에 직교하는 상기 타깃의 축 방향의 상기 타깃의 선단면으로부터 10㎜까지의 범위에 있어서, 이하의 조건 a) 및 b), 즉,a) 상기 자석에 의해 형성되는 자장에 의한 자력선이 상기 선단면에 근접하면서 상기 타깃의 반경 방향의 외측을 향하는 방

선단면과 그 주연에 연속되는 측면을 갖는 봉상으로 이루어져 있고, 아크 방전에 의해 상기 선단면으로부터 용해되어 증발되는 타깃과,상기 타깃의 상기 측면으로부터 당해 타깃의 반경 방향으로 이격된 위치에 배치된 적어도 1개의 자석을 구비하고 있고,상기 자석은,상기 타깃의 측면에 있어서 상기 선단면에 직교하는 상기 타깃의 축 방향의 상기 타깃의 선단면으로부터 10㎜까지의 범위에 있어서, 이하의 조건 a) 및 b), 즉,a) 상기 자석에 의해 형성되는 자장에 의한 자력선이 상기 선단면에 근접하면서 상기 타깃의 반경 방향의 외측을 향하는 방향으로 연장됨과 함께, 상기 타깃의 측면에 대해 상기 자력선이 이루는 각도는, 45도 이하이고, 또한,b) 당해 자력선의 강도에 있어서의 상기 타깃의 축 방향의 성분은, 200G 이상이라고 하는 조건을 만족시키는 자장을 형성하도록 배치되어 있는, 아크 증발원.