초록

본 발명은 다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체를 포함하는 웨이퍼 다이싱용 세정제 조성물.[화학식 1]R1-(PO)x(EO)y(PO)z-R2여기서, 상기 R1은 C8~20이고, R2는 -OH 또는 C8~20이며, x는 1~20, y는 5~20, z는 1~20이다.본 발명에 따른 웨이퍼 다이싱용 세정제 조성물은 웨이퍼 다이싱시 사용되는 세정제의 미립자 제거성능을 향상시키는 동시에, 웨이퍼에 대한 열적 손상을 완화시키고, 미생물에 대한 내성을 향상시키는 효과가 있다.

대표청구항 ▼

다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체와 다음 화학식 2에 따른 비이온성계면활성제인 에틸렌옥사이드가 7:3의 중량비율로 혼합된 세정제 조성물에,5-클로로-2-(2,4-디클로로페녹시)페놀을 다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체 100중량부 기준으로 25중량부로 더 포함하고,1,2,3-벤조트리아졸을 다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체 100중량부 기준으로 20중량부로 더 포함하며,크롬산 스트론튬을 다음

다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체와 다음 화학식 2에 따른 비이온성계면활성제인 에틸렌옥사이드가 7:3의 중량비율로 혼합된 세정제 조성물에,5-클로로-2-(2,4-디클로로페녹시)페놀을 다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체 100중량부 기준으로 25중량부로 더 포함하고,1,2,3-벤조트리아졸을 다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체 100중량부 기준으로 20중량부로 더 포함하며,크롬산 스트론튬을 다음 화학식 1로 표시되는 프로필렌옥사이드/에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 공중합체 100중량부 기준으로 5중량부로 더 포함하는 웨이퍼 다이싱용 세정제 조성물.[화학식 1]R1-(PO)x(EO)y(PO)z-R2여기서, 상기 R1은 C10이고, R2는 C14이며, x는 20, y는 15, z는 20이다.[화학식 2]R-(EO)nOH여기서, 상기 R은 C10이고, n은 10이다.