초록 ▼

본 발명은 히팅 자켓에 관한 것이다.본 발명의 히팅 자켓은, 반도체 설비의 실린더 내부의 온도를 일정하게 유지하도록 실린더를 감싸는 히팅 자켓에 있어서, 상기 실린더를 감싸는 히팅 자켓의 내측면을 이루며, 실리콘 고무 재질의 내부층(10)과; 상기 내부층(10)의 외측면에 설치되어 있으며, 외부로부터 전원을 공급받아 열을 발생시키는 발열히터(20)와; 상기 발열히터(20)의 외측면에 설치되어 있으며, 실리콘 고무 재질로 이루어진 중간층(30)과; 상기 중간층(30)의 외측면에 설치되어 있으며, 그라파이트(40)와; 상기 그라파이트(

본 발명은 히팅 자켓에 관한 것이다.본 발명의 히팅 자켓은, 반도체 설비의 실린더 내부의 온도를 일정하게 유지하도록 실린더를 감싸는 히팅 자켓에 있어서, 상기 실린더를 감싸는 히팅 자켓의 내측면을 이루며, 실리콘 고무 재질의 내부층(10)과; 상기 내부층(10)의 외측면에 설치되어 있으며, 외부로부터 전원을 공급받아 열을 발생시키는 발열히터(20)와; 상기 발열히터(20)의 외측면에 설치되어 있으며, 실리콘 고무 재질로 이루어진 중간층(30)과; 상기 중간층(30)의 외측면에 설치되어 있으며, 그라파이트(40)와; 상기 그라파이트(40)외 외측면에 설치되어 있으며, 실리콘 고무 재질로 이루어져 있는 외부층(50);을 포함하여 구성된다.본 발명에 의해, 누전 방지를 위해 사용되던 접지(Cu Mesh)를 제거하는 한편, 자체로 전도성을 갖는 것은 물론 균일한 열전도성을 갖는 그라파이트가 설치됨으로써 접촉 면적이 균일하게 향상되도록 하는 한편, 그라파이트 자체의 재질 특성을 활용하여 열전도율을 높일 수 있고, 이를 통해 하나의 부재를 활용하여 고온에서 저온으로 하강시 잔열 제거 능력이 향상되고, 일정한 온도를 유지하는 항상성이 증가된 히팅 자켓이 제공된다. 즉, 우수한 열 전도성을 갖는 그라파이트 시트를 이용하여 표면 온도 편차를 최소화하고 자켓 내부의 수직 방향으로의 열전도를 유지하는 한편, 점방식의 온도 측정 방식을 보완하여 내구성이 우수하고 신뢰성을 갖는 히팅 자켓이 제공될 수 있게 되는 것이다.

대표청구항 ▼

반도체 설비의 실린더 내부의 온도를 일정하게 유지하도록 실린더를 감싸는 히팅 자켓에 있어서,상기 실린더를 감싸는 히팅 자켓의 내측면을 이루며, 실리콘 고무 재질의 내부층(10)과;상기 내부층(10)의 외측면에 설치되어 있으며, 외부로부터 전원을 공급받아 열을 발생시키는 발열히터(20)와;상기 발열히터(20)의 외측면에 설치되어 있으며, 실리콘 고무 재질로 이루어진 중간층(30)과;상기 중간층(30)의 외측면에 설치되어 있으며, 그라파이트가 포함된 재질로 이루어져 있는 그라파이트(40)와;상기 그라파이트(40)외 외측면에 설치되어 있

반도체 설비의 실린더 내부의 온도를 일정하게 유지하도록 실린더를 감싸는 히팅 자켓에 있어서,상기 실린더를 감싸는 히팅 자켓의 내측면을 이루며, 실리콘 고무 재질의 내부층(10)과;상기 내부층(10)의 외측면에 설치되어 있으며, 외부로부터 전원을 공급받아 열을 발생시키는 발열히터(20)와;상기 발열히터(20)의 외측면에 설치되어 있으며, 실리콘 고무 재질로 이루어진 중간층(30)과;상기 중간층(30)의 외측면에 설치되어 있으며, 그라파이트가 포함된 재질로 이루어져 있는 그라파이트(40)와;상기 그라파이트(40)외 외측면에 설치되어 있으며, 실리콘 고무 재질로 이루어져 있는 외부층(50);을 포함하여 구성된,히팅 자켓.