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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2017-0040100 (2017-03-29) | |
공개번호 | 10-2018-0110488 (2018-10-10) | |
등록번호 | 10-2372922-0000 (2022-03-04) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020170040100 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-03-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 화학식 1로 표시되는 히드록시메틸아미노기를 포함하는 3차 아민 0.1 내지 20 중량%; 극성 유기용매 79 내지 99.9 중량%를 포함하는, 레지스트 박리액 조성물에 관한 것이다.[화학식 1]상기 화학식 1에서 R1 및 R2는 각각 독립적으로 탄소수 1 내지 5의 알킬기, 탄소수 1 내지 5의 히드록시알킬기 또는 탄소수 1 내지 5의 알콕시기이다.
화학식 1로 표시되는 히드록시메틸아미노기를 포함하는 3차 아민 0.1 내지 20 중량%; 및 극성 유기용매 79 내지 99.5중량%를 포함하며, 상기 화학식 1로 표시되는 히드록시메틸 아미노기를 포함하는 3차 아민은 2-((히드록시메틸)(메틸)아미노)에탄올, 2-((히드록시메틸)(에틸)아미노)에탄올, 2,2-((히드록시에틸)(히드록시메틸)아미노)에탄올 및 3-((히드록시메틸)(메틸)아미노)프로판올으로 이루어지는 군으로부터 선택되는 1종 이상인 것이며, 처리매수 향상용인, 레지스트 박리액 조성물.[화학식 1](상기 화학식 1에서, R
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