선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2015-0140728 (2015-10-07) | |
공개번호 | 10-2017-0041366 (2017-04-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020150140728 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명에 따른 포토레지스트 박리액 조성물은 알킬렌글리콜 t-부틸 에테르계 화합물을 2종 이상 포함하여, 포토레지스트의 제거에 소모되는 시간을 감축시킬 수 있고 절연체의 손상을 최소화할 수 있다.
하기 화학식 1로 표시되는 화합물, 하기 화학식 2로 표시되는 화합물 및 디알킬렌글리콜 알킬에테르 화합물을 함께 포함하는 포토레지스트 박리액 조성물:[화학식 1][화학식 2]상기 식에서, n은 2 내지 5의 자연수이다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.